질량분석기

TRANSPECTOR® MPH 잔류 가스 분석기

수율 증대 및 최대 가동 시간을 위한 독보적인 성능

실리콘 웨이퍼의 가격이 증가하고 완성 제품에 대한 수요가 증가한다는 것은 스크랩 웨이퍼로 인한 비용이 그 어느 때보다 크다는 의미입니다. 따라서 공정을 이해하고 결함을 모니터링하는 것이 반도체 제조 센터에서 훨씬 높은 우선순위가 되었습니다. Transpector MPH 가스 분석 시스템은 모든 가스 분석 분야에서 공정에 업계 최고의 성능을 부여하여 칩 수율을 극대화하고 도구 비사용 시간을 최소화하도록 설계되어 있습니다. 낮은 총 소유 비용과 높은 평균 고장 간격의 이점을 결합한 Transpector MPH는 시장에 출시된 다른 잔류 가스 분석기(RGA)보다 높은 수익을 가져다 줍니다.

INFICON은 가스 분석 공정 제어 장비 분야의 전문성을 활용하여 업계 최고 수준의 데이터 수집 속도, 최소 검출 가능한 분압 및 신호대잡음비로 RGA를 생성합니다. 신뢰성을 조금도 약화시키지 않으면서 이 모든 것을 INFICON Transpector 가스 분석기에서 얻을 수 있습니다.

특징

아날로그 스캔 및 선택한 피크에 대한 포인트당 최대 데이터 속도, 1.8 ms
TCP/IP 이더넷 연결
이중 필라멘트
현장 교체 가능한 전자 증배관
조합된 양극, 음극 및 리페럴 필라멘트 키트
더 짧은 센서로 설치 공간 최소화
9 디케이드의 동적 범위
2E-15 Torr 미만의 MDPP(100 amu)
신호 대 잡음비 증가
상호 교환 가능한 센서 및 전자장치
센서가 청정실 환경에서 조립, 시험 및 이중 포장됨
RoHS 준수

사양서

MPH100M

MPH100F

MPH200M

MPH200F

MPH300M

MPH300F

질량 범위	100 amu

최소 검출 가능 부분 압력	2E-15 Torr

민감도(FC)	6E-4 A/Torr

민감도(EM)	500 A/Torr

최대 작동 압력	5E-4 Torr

질량 범위	100 amu

최소 검출 가능 부분 압력	3E-13 Torr

민감도(FC)	6E-4 A/Torr

민감도(EM)	NA

최대 작동 압력	5E-4 Torr

질량 범위	200 amu

최소 검출 가능 부분 압력	3E-15 Torr

민감도(FC)	5E-4 A/Torr

민감도(EM)	500 A/Torr

최대 작동 압력	5E-4 Torr

질량 범위	200 amu

최소 검출 가능 부분 압력	4E-13 Torr

민감도(FC)	5E-4 A/Torr

민감도(EM)	NA

최대 작동 압력	5E-4 Torr

질량 범위	300 amu

최소 검출 가능 부분 압력	4E-15 Torr

민감도(FC)	4E-4 A/Torr

민감도(EM)	250 A/Torr

최대 작동 압력	5E-4 Torr

질량 범위	300 amu

최소 검출 가능 부분 압력	5E-13 Torr

민감도(FC)	4E-4 A/Torr

민감도(EM)	NA

최대 작동 압력	5E-4 Torr

악세사리

961-021-G1	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
600-1190-P8	Ethernet 7m cable
600-1190-P15	Ethernet 15m cable
600-1428-P1	Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m)
600-1429-P1	Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m)
961-417-G1	Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi
961-418-G1	Ethernet Switch 8 port
961-702-G1	Pirani Interlock Kit
914-024-G1	Angle Valve Kit, Manual (includes heater)
914-026-G1	MPH Angle Valve Kit, Electropneumatic 24 V(DC) (includes heater)
961-029-G1	MPH Heater Kit 120 VAC
961-029-G2	MPH Heater Kit 230 VAC

Universal Spare Parts

소모품

961-416-P1	Spare MPH Heating Jacket
914-407-P1	Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone)
600-1117-P1	Spare Heater Power Cable 120 VAC
600-1117-P2	Spare Heater Power Cable 230 VAC
914-410-P1	Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1	Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2	MPH Extension Kit
961-205-G2	MPH HPR Extension Kit
961-022-G1	Spare O-Ring and Nut Kit
074-5007-G1	Gas Analysis Product Manuals CD

961-700-G1	Coated Iridium Filament Kit
961-700-G2	Tungsten Filament Kit
961-701-G1	Coated Iridium Filament Ion Source
961-701-G2	Tungsten Filament Ion Source
961-2428-G2	Electron Multiplier Replacement Kit

스페어 파트