질량분석기

Transpector® APX ALD 단일 압력

단일 압력 ALD/CVD 및 에칭을 위한 고급 공정 전문가

실시간 스크랩 최소화 및 수율 극대화

인피콘 트랜스펙터 APX는 반도체 및 디스플레이 공정 모니터링을 위한 시장을 선도하는 잔류 가스 분석기(RGA)로 자리매김하고 있습니다. 인피콘은 반도체 및 디스플레이 고객이 고유한 요구 사항을 가지고 있다는 것을 알고 있으며, 최신 버전의 Transpector APX는 업계 최고의 측정 속도와 감도를 유지하면서 특정 어플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있도록 유연성을 향상시켰습니다. Transpector APX는 ALD, CVD, PVD 및 식각과 같은 반도체 공정에 이상적인 RGA 공정 모니터입니다.

차세대 Transpector APX ALD 단일 압력 인렛 시스템은 ALD 또는 PECVD와 같이 파티클 또는 코팅이 발생하기 쉬운 공정 화학을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 모든 중요 공정 단계에서 데이터 포인트를 캡처할 수 있는 지속적인 모니터링이 가능합니다. 또한 인렛은 부식성 가스에 대한 내성을 위해 온도가 제어되며, 이는 챔버 클린 엔드포인트 모니터링 어플리케이션에 필수적입니다.

장점

최고의 웨이퍼 및 패널 보호와 공정 최적화를 위해 ALD 또는 CVD 공정에서 가장 긴 수명을 보장하는 어플리케이션별 플랫폼 설계
초당 550개 이상의 데이터 포인트 측정 속도로 ALD 지원
고성능 펌핑 시스템으로 팹 풋프린트 30% 감소 및 설치 용이성 향상
가혹한 부식성 화학 물질을 견딜 수 있는 개별 압력 인렛를 위한 인피콘 독점 코팅이 적용된 온도 제어 인렛
자동화된 보정을 통해 센서 간 및 장비 간 챔버 매칭을 위한 장기적인 데이터 신뢰성 및 정확성 보장
Transpector APX는 FabGuard® 소프트웨어와 통합되고 세계적인 수준의 어플리케이션 전문가가 지원하는 강력한 공정 모니터링 및 진단 도구가 됩니다.

사양서

100 AMU

200 AMU

300 AMU

총 압력 범위	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

탐지 제한	<10 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

감도(저방출)	>4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar

감도(고감도)	>2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar

총 압력 범위	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

탐지 제한	<25 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

감도(저방출)	>2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar

감도(고감도)	>1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar

총 압력 범위	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

탐지 제한	<50 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

감도(저방출)	>1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar

감도(고감도)	>5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar

소모품

파트 넘버	설명
969-800-G1S	APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD
969-800-G2S	APX CIS Coated Filament Kit GOLD
969-801-G1S	APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD
969-801-G2S	APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
969-801-G3S	APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD
969-801-G4S	APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
961-707-G1	Electron Multiplier Replacement Kit
923-418-G2	Replacement diaphragm kit for 2-stage pump