질량분석기
Transpector® MPS
일반 진공 분야를 위한 탁월한 성능과 뛰어난 가치
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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제조 기술이 발전하고 품질 표준이 변화함에 따라 공정을 이해하고 제품 품질을 유지해야 할 필요성이 그 어느 때보다도 중요해졌습니다. Transpector MPS는 공정 조건을 모니터링하고 오염 물질을 탐지하고 누출을 확인하여 공정이 최적화되도록 도와줄 수 있습니다. Transpector MPS는 고객에게 탁월한 가치를 제공하는 RGA Transpector 브랜드의 견고한 성능을 보여줍니다.
Transpector MPS는 100 amu 및 200 amu 버전으로 사용할 수 있으며, 따라서 일반 누출 검출, 진공 진단, 탄화수소 분석 등에서 다양한 기능을 수행하는 유연성을 제공합니다. 이 다기능성 덕분에 Transpector MPS는 진공로, 열 처리 및 진공 코팅 분야에 적합한 센서입니다.
특징
- 이중 필라멘트
- 현장 교체 가능한 전자 증배관
- 현장 교체 가능한 양극, 음극 및 리페럴 필라멘트 어셈블리
- 상호 교환 가능한 센서 및 전자장치
- TCP/IP 이더넷 연결
- 더 짧은 센서로 설치 공간 최소화
- 9 디케이드의 동적 범위
- 아날로그 스캔 및 선택한 피크에 대한 포인트당 최대 데이터 속도, 3 ms
- <1.5E-14Torr의 MDPP
- 센서가 청정실 환경에서 조립, 시험 및 이중 포장됨
- RoHS 준수
사양서
MPS100M
MPS100F
MPS200M
MPS200F
| 질량 범위 | 100 amu |
| 최소 검출 가능 부분 압력 | 1.5E-14 Torr |
| 민감도(FC) | 3E-4 amps/Torr |
| 민감도(EM) | 500 amps/Torr |
| 최대 작동 압력 | 5E-4 Torr |
| 질량 범위 | 100 amu |
| 최소 검출 가능 부분 압력 | 2.6E-12 Torr |
| 민감도(FC) | 3E-4 amps/Torr |
| 민감도(EM) | NA |
| 최대 작동 압력 | 5E-4 Torr |
| 질량 범위 | 200 amu |
| 최소 검출 가능 부분 압력 | 1.5E-14 Torr |
| 민감도(FC) | 3E-4 amps/Torr |
| 민감도(EM) | 500 amps/Torr |
| 최대 작동 압력 | 5E-4 Torr |
| 질량 범위 | 200 amu |
| 최소 검출 가능 부분 압력 | 2.6E-12 Torr |
| 민감도(FC) | 3E-4 amps/Torr |
| 민감도(EM) | NA |
| 최대 작동 압력 | 5E-4 Torr |
악세사리
| 961-021-G1 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug |
| 961-021-G2 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G3 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G4 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug |
| 961-021-G5 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G6 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 600-1190-P8 | Ethernet 7m cable |
| 600-1190-P15 | Ethernet 15m cable |
| 600-1428-P1 | Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m) |
| 961-417-G1 | Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi |
| 961-418-G1 | Ethernet Switch 8 port |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual (includes heater) |
| 961-029-G1 | MPH Heater Kit 120 VAC |
| 961-029-G2 | MPH Heater Kit 230 VAC |
범용 예비 부품
소모품
| 961-416-P1 | Spare MPH Heating Jacket |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone) |
| 600-1117-P1 | Spare Heater Power Cable 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Spare Heater Power Cable 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 961-022-G1 | Spare O-Ring and Nut Kit
|
| 961-700-G1 | Coated Iridium Filament Kit |
| 961-701-G1 | Coated Iridium Filament Ion Source |
| 961-2428-G2 | Electron Multiplier Replacement Kit |
스페어 파트
MPS100M
MPS100F
MPS200M
MPS200F
| 961-S1MAS | MPS100 EM Sensor with Y2O3/Ir Filaments |
| MP-S10S | MPS100 Electronics Box w/ Ethernet Comm |
| 961-S1FAS | MPS100 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments |
| MP-S10S | MPS100 Electronics Box w/ Ethernet Comm |
| 961-S2MAS | MPS200 EM Sensor with Y2O3/Ir Filaments |
| MP-S20S | MPS200 Electronics Box w/ Ethernet Comm |
| 961-S2FAS | MPS200 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments |
| MP-S20S | MPS200 Electronics Box w/ Ethernet Comm |
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다
