질량 분석기

탄화수소 감지기 (HCD)

산업 제조 환경에서 휘발성 유기 화합물 검출

ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

여기에서 웨비나를 확인하세요.

실시간 중요 공정 모니터링

인피콘의 탄화수소 감지기로 휘발성 유기 화합물을 감지하여 제조 공정 제어를 한 단계 업그레이드하십시오.

당사의 광대역 비선택적 센서는 반도체, 태양광, 제약 또는 기타 진공 기반 공정을 포함한 가혹한 산업 제조 환경에서 핵심 공정을 모니터링하며, 탁월한 감도로 탄화수소 및 실리콘 오일을 실시간으로 감지합니다.

반도체 공정에서 포토레지스트 오염을 감지하든, 동결 건조 응용 분야에서 펌프 오일 오염을 감지하든, HCD 센서는 사용하기 쉽고 효과적인 솔루션입니다. 기존 시스템이나 인피콘 FabGuard® 소프트웨어와 원활하게 통합됩니다. 이 센서는 모든 챔버 조건과 호환되며 펌핑 시스템 유지보수가 필요하지 않습니다.

장점

실시간 모니터링
맞춤형 센서 작동 제어 및 쉬운 데이터 해석
데이터 수집을 통한 원활한 장비 통합 및 신뢰할 수 있는 차단
빠르고 쉬운 센서 설치, 최소화된 장비 공간 점유
낮은 총 소유 비용, 높은 투자 수익률

사양서

작동 압력 범위	1 Torr - 1 ATM

검출 한계	작동 압력에 따른 ppm에서 ppb로의 변환

작동 온도 범위	-25℃ ~ 180℃

감도 (고방출)	2E-5 A/Torr

장착 플랜지	표준 FK25; 맞춤형 옵션 가능

사용 가능한 입력/출력	4-20mA, 0-10 V 아날로그, Modbus TCP

자외선 광이온화를 이용한 오염 측정	10 / 10.6 eV 크립 방전