질량 분석법

트랜스펙터 APX 다중 압력

다압 ALD/CVD 및 식각을 위한 고급 공정 전문가

실시간 스크랩 최소화 및 수율 극대화

인피콘 트랜스펙터 APX는 반도체 및 디스플레이 공정 모니터링을 위한 시장을 선도하는 잔류 가스 분석기(RGA)로 자리매김하고 있습니다. 인피콘은 반도체 및 디스플레이 고객이 고유한 요구 사항을 가지고 있다는 것을 알고 있으며, 최신 버전의 Transpector APX는 업계 최고의 측정 속도와 감도를 유지하면서 특정 어플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있도록 유연성을 향상시켰습니다. Transpector APX는 ALD, CVD, PVD 및 식각과 같은 반도체 공정에 이상적인 RGA 공정 모니터입니다.

차세대 Transpector APX 다중 압력 인렛 시스템은 ALD 또는 PECVD와 같이 파티클 또는 코팅이 발생하기 쉬운 공정 화학을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 모든 중요한 공정 단계에서 데이터 포인트를 캡처하기 위한 지속적인 모니터링이 가능합니다. 또한 HexBlock 인렛은 부식성 가스에 대한 내성을 위해 인피콘의 독점 코팅이 적용되어 챔버 클린 엔드포인트 모니터링 어플리케이션에 필수적입니다.

장점

최고의 웨이퍼 및 패널 보호와 공정 최적화를 위해 ALD 또는 CVD 공정에서 가장 긴 수명을 보장하는 어플리케이션별 플랫폼 설계
초당 550개 이상의 데이터 포인트 측정 속도로 ALD 지원
고성능 펌핑 시스템으로 팹 풋프린트 30% 감소 및 설치 용이성 향상
가혹한 부식성 화학 물질을 견딜 수 있는 최대 3개의 압력 주입구가 있는 인피콘 독점 코팅이 적용된 HexBlock™ 구성 가능
자동화된 보정을 통해 센서 간 및 장비 간 챔버 매칭을 위한 장기적인 데이터 신뢰성 및 정확성 보장
Transpector APX는 FabGuard® 소프트웨어와 통합되고 세계적인 수준의 어플리케이션 전문가가 지원하는 강력한 공정 모니터링 및 진단 도구가 됩니다.

사양서

100 AMU

200 AMU

300 AMU

총 압력 범위	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

탐지 제한	<10 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

감도(저방출)	>4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar

감도(고감도)	>2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar

총 압력 범위	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

탐지 제한	<25 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

감도(저방출)	>2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar

감도(고감도)	>1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar

총 압력 범위	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

탐지 제한	<50 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

감도(저방출)	>1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar

감도(고감도)	>5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar

소모품

파트 넘버	설명
969-800-G1S	APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD
969-800-G2S	APX CIS Coated Filament Kit GOLD
969-801-G1S	APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD
969-801-G2S	APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
969-801-G3S	APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD
969-801-G4S	APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
961-707-G1	Electron Multiplier Replacement Kit
923-418-G2	Replacement diaphragm kit for 2-stage pump