질량분석기

Transpector® APX 다중 압력

즉각적인 통찰력, 더 스마트한 제어, 더 나은 수율을 확보하십시오.

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산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

첨단 반도체 제조에서는 매초와 분자 하나하나가 중요합니다. 공정 화학의 미세한 변화는 필름 품질, 균일성 및 수율에 직접적인 영향을 미칠 수 있습니다. 대부분의 팩토리는 특히 가변 압력과 가혹한 화학 조건 하에서 이러한 변화를 실시간으로 파악하는 데 여전히 어려움을 겪고 있습니다. 기상 데이터를 즉시 포착하고 분석하며 대응하는 능력은 이제 공정 제어뿐만 아니라 스마트한 데이터 기반의 제조를 위해 필수적입니다.

ALD, CVD, PVD, Etch 등 오늘날의 첨단 공정들은 실시간 가시성, 반복성 및 공정 제어를 요구합니다. 이를 확보하지 못할 경우 제조업체는 다음과 같은 문제에 직면합니다:

웨이퍼 결함, 수율 손실 및 비용이 많이 드는 재작업을 유발하는 보이지 않는 에칭 엔드 포인트 및 잔류물 축적
크로스 챔버 공정 불일치로 인한 결과 불일치 및 신규 툴 세트와 레시피의 인증 기간 연장
누설, 챔버 상태 악화 또는 오염된 공정 가스로 인한 공정 드리프트 및 오염으로 가동 중단 시간 증가 및 수율 감소
센서와 팩토리 분석 시스템 간의 데이터 사일로로 인해 엔지니어가 가스상 신호를 수율 또는 장비 상태와 실시간으로 연관 지을 수 없음

Transpector APX 다중 압력는 핵심 공정을 확인하고 이해하며 제어할 수 있는 미래형 스마트 팩토리를 위해 설계되었습니다.

Transpector APX가 실시간 가스 분석을 제공하는 방식을 확인하세요

측정 가능한 성과

팩토리의 핵심 공정을 혁신하세요. 엔지니어에게 중요한 순간과 장소에서 필요한 가시성을 제공합니다. Transpector APX 다중 압력는 단순한 가스 분석기가 아닙니다. 공정 우수성을 위한 스마트 제조의 관문입니다.

모든 단계에서 화학 신호를 포착하여 불량품과 계획되지 않은 장비 가동 중단을 최소화합니다.
장비 전반에 걸쳐 일관된 센서 데이터와 보정을 통해 가동 가속 및 레시피 이전을 가속화합니다.
화학 및 압력 조건을 사전 모니터링하여 공정 편차와 유지보수 비용을 절감하세요.
분석, FDC 시스템 및 예측 유지보수 플랫폼에 데이터를 공급하여 팩토리 전반의 데이터 활용도를 높이세요.

장점

최상의 공정 모니터링: 증착 및 식각 단계에 대한 실시간 통찰력을 위해 초당 550개 이상의 데이터 포인트 제공
강력한 화학 환경 대응: 독점 코팅이 적용된 HexBlock™ 다중 인렛 시스템으로 부식성 및 입자 농도가 높은 환경 모니터링 가능
공간 효율적인 설치 면적: 고성능 펌핑 기술로 설치 면적 최대 30% 감소, 협소한 팩토리 레이아웃 통합 용이
원활한 장비 호환 및 분석: 자동 교정 및 팩토리 분석 시스템(FabGuard®를 통해)과의 직접 연동으로 챔버 동작 일관성과 장비 간 데이터 신뢰성 보장
스마트 팩토리 전반의 확장 가능한 통합: 모니터링, 진단, 디지털 트윈 준비도 등 다층적 지원으로 Industry 4.0 및 스마트 제조 이니셔티브와 부합

사양

100 AMU

200 AMU

300 AMU

총 압력 범위	5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)

검출 한계	<10 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm)

감도 (Low emission)	>4.0E-6 A/Torr (>3E-6 A/mbar)

감도 (High emission)	>2.0E-5 A/Torr (>1.5E-5 A/mbar)

총 압력 범위	5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)

검출 한계	<25 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm)

감도 (Low emission)	>2.0E-6 A/Torr (>1.5E-6 A/mbar)

감도 (High emission)	>1.0E-5 A/Torr (>7.6E-6 A/mbar)

총 압력 범위	5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)

검출 한계	<50 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm)

감도 (저 방출)	>1.0E-6 A/Torr (>7.6E-7 A/mbar)

감도 (고 방출)	>5.0E-6 A/Torr (>3.8E-6 A/mbar)

소모품

Part Number	Description
969-800-G1S	APX CIS 텅스텐 필라멘트 키트 골드
969-800-G2S	APX CIS 코팅 필라멘트 키트 골드
969-801-G1S	APX CIS 텅스텐 이온 소스 키트 골드
969-801-G2S	APX CIS 양극 라이너가 포함된 텅스텐 이온 소스 키트 골드
969-801-G3S	APX CIS 코팅 이온 소스 키트 골드
969-801-G4S	APX CIS 양극 라이너가 포함된 코팅 이온 소스 키트 골드
961-707-G1	전자 증배기 교체 키트
923-418-G2	2단계 펌프용 교체 다이어프램 키트