질량분석기

TRANSPECTOR® XPR 3+ 잔류 가스 분석기

확장된 압력 범위 RGA - 민감화를 통한 혁신

특징

급속한 공정 변화 모니터링 및 제어

새 Transpector XPR 3+ 잔류 가스 분석기(RGA)는 업계 선두적인 측정 속도를 제공하여 최신 반도체 및 디스플레이 제조에 필요한 빠른 공정 변화를 모니터링하고 제어합니다. Transpector XPR 3+는 현장의 공기 누출, 가스 순도, 탄화수소 및 오염 모니터링에 이상적입니다. Transpector XPR 3+를 사용한 실시간 측정은 정기적인 상승률 테스트에 비해 매우 월등한 제품 보호를 제공합니다.

도구 가동 시간을 극대화하여 수익성 확보

Transpector XPR 3+ RGA는 스퍼터링 압력 범위 응용 분야에 대해 현장 입증된 사중극 및 이중 이온 소스 센서입니다. 압력 변환 장비가 필요 없습니다. 긴 수명 구성요소와 문제를 신속하게 검출하고 진단하는 기능이 결합하여 도구 가용성, 제품 처리 능력 및 수율을 극대화합니다. 센서는 펌프 없이도 고진공에서 20 mTorr까지 지속적으로 작동할 수 있습니다. Transpector XPR 3+ 이중 이온 소스의 챔버는 코팅을 제한하여 이온 소스 민감도를 유지하고 센서의 평균 유지보수 시간을 연장하도록 설계되었습니다.

장점

높은 진공에서 PVD 공정 압력에 이르기까지 고감도 공기 누출 및 오염 검출로 인한 실시간 웨이퍼 및 패널 보호
신속하고 믿을 수 있는 챔버 관리로 PM 효율성 및 도구 가동 시간 극대화
수명 연장, 오염 방지, 이중 이온 소스 설계로 총 소유 비용 최소화. 펌프 없이도 최대 20 mTorr를 모니터링합니다. 저압 EM 이형이 비용 절감을 위한 대안 제공
강력한 데이터 획득과 동기화를 통한 원활한 팹 통합과 신뢰할 수 있는 차단
맞춤 레시피 최적화로 고유한 제조 역량 향상
전문가의 즉각적인 현장 대응으로 중요한 공정 요구 보호

일반적인 응용 분야

PVD 및 스퍼터링 공정 모듈
사전 세정 모듈
비 클러스터 PVD 도구
클램프된 가스 제거 모듈

사양서

질량 위치 안정성	<0.1 amu over 24 hours

민감도(FC 모드)	≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)

민감도(공칭)	≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)

최소 검출 가능한 분압 (FC 모드)	≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)

최소 검출 가능한 분압 (EM 모드)	≤6E-12 Torr (8E-12 mbar)

최대 작동 압력(FC 또는 EM 모드)	20 mTorr (2.6E-2 mbar)

최대 작동 압력(선형 작동)	10 mTorr (1.3E-2 mbar)