가스 분석
기술
질량 분석법
광학 분광법
공정
PVD
CVD
ALD
Etch
Lithography
압력
< E-5 Torr
> E-4 Torr ~ 1E-2Torr
1E-2 Torr ~ 1 Torr
> 1 Torr
검출 한계
1-10 ppm
< 1 ppm
< 10 ppb
시장
냉난방 공조
산업 제조
진공 코팅
보안
에너지
반도체 IDM 및 파운드리
반도체 장비 제조업체
디스플레이
제약 및 의료
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연구 및 학계
분석 기기
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질량 분석법
트랜스펙터 APX 다중 압력
다압 ALD/CVD 및 식각을 위한 고급 공정 전문가
트랜스펙터 APX 다중 압력
- 가혹한 공정 환경에서 수명이 연장되도록 코팅된 부품
- 다중 압력 샘플링 입구
- 10ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
연소 분석기
FLUE-Mate
연소 효율 최적화
- 효율, O2, CO2, CO 및 연도 가스 온도 판독값을 모두 한 화면에 표시합니다.
- 읽기 쉬운 백라이트 디스플레이
- 내장 압력계 및 호스 키트로 시스템 압력 모니터링
- FLUE-Mate 모바일 앱을 사용하여 빠른 분석 보고서를 위한 QR 코드
질량분석기
Transpector® APX ALD 단일 압력
단일 압력 ALD/CVD 및 에칭을 위한 고급 공정 전문가
Transpector® APX ALD 단일 압력
- 가혹한 화학 물질에서 수명을 연장하기 위해 코팅된 부품
- 고온 단일 압력 주입구
- 10ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
광학 가스 분석기
Quantus® HP100
최첨단 반도체 제조 공정 및 기타 가스 분석 애플리케이션을 위한 실시간 누출 감지, 엔드포인트 감지 및 공정 모니터링을 제공합니다.
Quantus® HP100
- 1 토르에서 최대 450 토르까지 작동 범위
- 1ppm 미만의 우수한 검출 한계
- 장기적인 신뢰성: 펌프 불필요
- KF25 연결을 사용한 간편한 설치
질량분석기
Transpector® XPR 3+
Extreme PVD 공정 모니터링 사중극자 질량분석기
TRANSPECTOR® XPR 3+ 잔류 가스 분석기
- 업계 최고의 최대 작동 압력
- 선택적 과압 차단 밸브 인터록
- 최대 100amu 스캔
광학 가스 분석기
Augent® OPG550
INFICON Augent® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
Augen® OPG550
- 고속 누출 감지로 챔버 누출 테스트 가능
- 생산성 및 수율 증가
- 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
- 공정 화학에 대한 내구성
질량분석기
Transpector® MPH
고성능 사중극자 질량분석기
TRANSPECTOR® MPH 잔류 가스 분석기
- 90년 다이내믹 레인지
- 업계 최고의 데이터 수집 속도
- 교환 가능한 센서 및 전자 장치
- 최대 300amu 스캔
질량분석기
Transpector® MPS
다목적 사중극자 질량분석기
Transpector® MPS
- 90년 다이내믹 레인지
- 교환 가능한 센서 및 전자 장치
- 선택적 연속 다이노드 전자 증배기
- 최대 200amu 스캔
질량분석기
Transpector® CPM 3
기준선에서 프로세스 압력까지 다양한 프로세스 모니터링
TRANSPECTOR® CPM 3 컴팩트 프로세스 모니터
- 이상적인 반도체 프로세스 모니터
- 다중 압력 샘플링 입구
- 1ppm 미만의 검출 한계
- 통합 차동 펌핑
질량분석기
Transpector® SPS
목표 압력 범위에서 프로세스 모니터링
TRANSPECTOR® SPS 잔류 가스 분석기
- 표적 고압 프로세스
- 단일 압력 샘플링 입구
- 1ppm 미만의 검출 한계
- 통합 차동 펌핑 시스템
광학 가스 분석기
Quantus® LP100
중요한 프로세스 환경에 대한 실시간 누출 감지 및 끝점 감지 제공
INFICON QUANTUS® LP100 가스 분석기
- 10 mTorr ~ 1 Torr의 작동 범위
- 낮은 ppm 수준까지 뛰어난 검출 한계
- 장기적인 신뢰성: 펌프가 필요하지 않음
- 표준 KF25 연결을 사용한 손쉬운 설치
질량분석기
Mobile Cart for Transpector® CPM
Transpector CPM이 모바일 문제 해결 도구가 되도록 허용
Mobile Cart for Transpector® CPM
- 필요한 곳에서 Transpector CPM을 얻을 수 있을 만큼 유연합니다.
- 좁은 공간에 맞는 작은 설치 공간
- Transpector CPM을 실행하는 데 필요한 모든 것을 수용할 수 있는 완전한 시스템
질량분석기
QMG 700
QMG 700 Analytical Mass Spectrometer는 검출 장벽을 허물고 다음 단계의 혁신으로 프로세스를 추진합니다.
QMG 700
- 1-512 amu의 질량 범위 옵션
- 9 디케이드 이상의 동적 범위
- 매우 빠른 측정 속도: 0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar