Monitors

STM-2 USB 薄膜蒸着レート/膜厚モニター

小型で低価格、しかも高性能

STM-2

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。小型でシンプルな構成のため、STM-2のセットアップと操作は容易かつ効率的に行えます。.

優れたパフォーマンス

STM-2は業界で最も正確な、USB電源供給型の薄膜モニタです。1秒あたり10回測定でき、1測定あたり0.037Åの分解能を達成します (密度1)。

設置が容易で柔軟

STM-2には、QCMセンサ/フィードスルーをWindows® PCに接続するのに必要なものすべてが付属しています。付属のBNCケーブルをフィードスルーからSTM-2に簡単に接続した後、標準ミニUSBケーブル (付属) を使用してSTM-2をPCに接続します。外部発振器または電源は必要ありません。

STM-2には内部発信器が含まれており、STM-2が水晶振動子から1 m (40インチ)以内にある場合であれば、シンプルかつ費用対効果の高い設置が可能です。STM-2をフィードスルーからもっと離さなければならない用途の場合には、INFICON®発信器キットを使用できます。

STM-2のソフトウェア

STM-2にはLabVIEW®ソフトウェアが付属しており、シンプルな操作とデータロギングが可能です。Windowsソフトウェアも付属しており、最大で8つのSTM-2を同時に操作し、データロギングが行えます(それぞれのSTM-2にはUSBポートからの電源供給が必要)。

ご注意ください:STM-2 WindowsアプリケーションソフトウェアまたはSTM-2 LabVIEWアプリケーションソフトウェアを適切に機能させるためには、SMDPサーバをインストールする必要があります。

機能

  • 低価格の装置
  • USB接続
  • 内部発振器
  • 1秒あたり10回測定する高精度
  • 外部発振器に対応
  • ソフトウェア付属

仕様

センサー入力Female BNC
測定周波数範囲6.0 to 5.0 MHz (fixed)
膜厚・蒸着レートの分解能/測定値±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
インターフェースUSB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc)
コンピューターの要件Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2
品番
アクセサリー
消耗品
Part NumberDescription
STM-2STM-2 USB Thin Film Rate/Thickness Monitor
NameDescription
Front Load Single SensorFront Load Single Sensor
Cool Drawer Single SensorCool Drawer Single Sensor
Low Profile Single SensorLow Profile Single Sensor
UHV Bakeable SensorUHV Bakeable Sensor
ALD SensorALD Sensor
Sputtering SensorSputtering Sensor
Easy Rate Single SensorEasy Rate Single Sensor
NameDescription
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
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