Monitors

STM-2 USB 薄膜蒸着レート/膜厚モニター

小型で低価格、しかも高性能

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

ウェビナー参加はこちらから

STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。小型でシンプルな構成のため、STM-2のセットアップと操作は容易かつ効率的に行えます。.

優れたパフォーマンス

STM-2は業界で最も正確な、USB電源供給型の薄膜モニタです。1秒あたり10回測定でき、1測定あたり0.037Åの分解能を達成します (密度1)。

設置が容易で柔軟

STM-2には、QCMセンサ/フィードスルーをWindows® PCに接続するのに必要なものすべてが付属しています。付属のBNCケーブルをフィードスルーからSTM-2に簡単に接続した後、標準ミニUSBケーブル (付属) を使用してSTM-2をPCに接続します。外部発振器または電源は必要ありません。

STM-2には内部発信器が含まれており、STM-2が水晶振動子から1 m (40インチ)以内にある場合であれば、シンプルかつ費用対効果の高い設置が可能です。STM-2をフィードスルーからもっと離さなければならない用途の場合には、INFICON®発信器キットを使用できます。

STM-2のソフトウェア

STM-2にはLabVIEW^®ソフトウェアが付属しており、シンプルな操作とデータロギングが可能です。Windowsソフトウェアも付属しており、最大で8つのSTM-2を同時に操作し、データロギングが行えます(それぞれのSTM-2にはUSBポートからの電源供給が必要)。

ご注意ください：STM-2 WindowsアプリケーションソフトウェアまたはSTM-2 LabVIEWアプリケーションソフトウェアを適切に機能させるためには、SMDPサーバをインストールする必要があります。

機能

低価格の装置
USB接続
内部発振器
1秒あたり10回測定する高精度
外部発振器に対応
ソフトウェア付属

仕様

センサー入力	メスBNC

測定周波数範囲	6.0～5.0MHz（固定）

厚みとレートの分解能/測定	±0.037 Å @ 工具/密度 = 100/1、基本周波数 = 6 MHz

インターフェース	USB v1.1以降、400mA、5V（直流）供給可能

コンピューターの要件	Windows 10、Windows 11、Windows 2000、XP、Vista、7、または8が動作するPCで、各STM-2用にUSB 1.1（またはそれ以降）ポートを1つ装備していること。

品番

アクセサリー

消耗品

Part Number	Description
STM-2	STM-2 USB Thin Film Rate/Thickness Monitor

Name	Description
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
ALD Sensor	ALD Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor