STM-2 USB 薄膜蒸着レート/膜厚モニター
小型で低価格、しかも高性能
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。小型でシンプルな構成のため、STM-2のセットアップと操作は容易かつ効率的に行えます。.
優れたパフォーマンス
STM-2は業界で最も正確な、USB電源供給型の薄膜モニタです。1秒あたり10回測定でき、1測定あたり0.037Åの分解能を達成します (密度1)。
設置が容易で柔軟
STM-2には、QCMセンサ/フィードスルーをWindows® PCに接続するのに必要なものすべてが付属しています。付属のBNCケーブルをフィードスルーからSTM-2に簡単に接続した後、標準ミニUSBケーブル (付属) を使用してSTM-2をPCに接続します。外部発振器または電源は必要ありません。
STM-2には内部発信器が含まれており、STM-2が水晶振動子から1 m (40インチ)以内にある場合であれば、シンプルかつ費用対効果の高い設置が可能です。STM-2をフィードスルーからもっと離さなければならない用途の場合には、INFICON®発信器キットを使用できます。
STM-2のソフトウェア
STM-2にはLabVIEW®ソフトウェアが付属しており、シンプルな操作とデータロギングが可能です。Windowsソフトウェアも付属しており、最大で8つのSTM-2を同時に操作し、データロギングが行えます(それぞれのSTM-2にはUSBポートからの電源供給が必要)。
ご注意ください：STM-2 WindowsアプリケーションソフトウェアまたはSTM-2 LabVIEWアプリケーションソフトウェアを適切に機能させるためには、SMDPサーバをインストールする必要があります。
機能
- 低価格の装置
- USB接続
- 内部発振器
- 1秒あたり10回測定する高精度
- 外部発振器に対応
- ソフトウェア付属
仕様
| センサー入力 | Female BNC |
| 測定周波数範囲 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) |
| 膜厚・蒸着レートの分解能/測定値 | ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz |
| インターフェース | USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc) |
| コンピューターの要件 | Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2 |
| Part Number | Description |
| STM-2 | STM-2 USB Thin Film Rate/Thickness Monitor |
| Name | Description |
| Front Load Single Sensor | Front Load Single Sensor |
| Cool Drawer Single Sensor | Cool Drawer Single Sensor |
| UHV Bakeable Sensor | UHV Bakeable Sensor |
| ALD Sensor | ALD Sensor |
| Sputtering Sensor | Sputtering Sensor |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
