Manómetros de capacitancia

Stripe® CDG045Dhs

45°C controlado por temperatura, escala completa 0,01 ... 1000 Torr / mbar

Stripe-CDGxxx

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Los indicadores del diafragma de la capacitancia de alta velocidad Stripe de INFICON son los instrumentos de medición de vacío más rápidos y precisos del mercado. Su tiempo de respuesta inferior a 2 ms, en combinación con su interfaz de bus de campo EtherCAT, abren la puerta a un campo totalmente nuevo de aplicaciones. 

El sensor de cerámica ultrapura, resistente a la corrosión y con una temperatura controlada ofrece una estabilidad superior a largo plazo, junto con una estabilidad de cero de última generación. El indicador Stripe incluye la exclusiva pantalla de sensor patentada de INFICON que protege el indicador de derivados del proceso no deseados. 

El indicador Stripe de INFICON utiliza un concepto de calentamiento innovador que le permite ofrecer una superficie fría al tacto y, además, su gran rapidez le permitirá obtener un aumento de la productividad sin precedentes, lo que lo convierten en el instrumento de vacío más avanzado de su clase.

En 2014, el indicador Stripe CDG045Dhs recibió el prestigioso galardón R&D 100 Award

Ventajas

  • Gran productividad – Tiempo de respuesta inferior a 2 ms
  • Integración flexible: bus de campo EtherCAT
  • Larga duración. Sensor de cerámica probado.
  • Sin recalibración: estabilidad a escala completa de 90ppm/año

Aplicaciones típicas

  • Deposición de capa atómica
  • Control de proceso de alta velocidad
  • PVD, CVD y decapado
  • aplicaciones generales de vacío de alta temperatura

Especificaciones

1000 Torr / 1100 mbar ... 0.05 Torr / mbar
0.02 ... 0.01 Torr / mbar
Exactitud % of reading0.15
Precisión% of reading-
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuesta ms2 ... 20
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Exactitud % of reading-
Precisión% of reading0.2
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuesta ms2 ... 20
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Descargue aquí las especificaciones completas

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