Edge® CDG045D2
45°C controlado por temperatura, escala completa 1 ... 1000 Torr / mbar
¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El indicador del diafragma de la capacitancia Edge de INFICON es un instrumento de medición de vacío de alta precisión diseñado para entornos de fabricación extremos. El sensor de cerámica ultrapura, resistente a la corrosión y con una temperatura controlada ofrece una estabilidad superior a largo plazo, junto con una estabilidad de cero de última generación. El indicador Edge incluye la exclusiva pantalla de sensor patentada de INFICON, que protege el indicador de derivados del proceso no deseados.
Los dispositivos electrónicos avanzados ofrecen una amplia variedad de acondicionamiento de señales configurable para todas las aplicaciones y una interfaz de bus de campo EtherCATTM opcional. El innovador concepto de calentamiento permite obtener una superficie fría al tacto y ahorrar un valioso espacio entre las herramientas. El indicador Edge de INFICON es el instrumento de medición de vacío más pequeño de su clase.
Ventajas
- Compacto: ahorra un valioso espacio entre las herramientas
- Fácil integración, EtherCAT, amplia variedad de escalas completas, bridas y escalas, y estándar con dos puntos de ajuste
- Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
- Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
- Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento avanzado y protección del indicador
- A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
- Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI y RoHS
Aplicaciones típicas
- CVD, decapado, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
Especificaciones
| Precisión | % of reading | 0.15 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.15 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
