SKY® CDG045D

Los manómetros CDG045D SKY de INFICON son la mejor opción para medir y controlar la presión totalmente y de manera precisa. Los indicadores CDG045D tienen una temperatura controlada de 45 °C para conseguir una repetibilidad y estabilidad de la señal superiores. Están disponibles para rangos de escala completa, desde 50 mTorr hasta 1.000 Torr, con todos los tipos de bridas e interfaces de bus de campo habituales, y ofrecen una señal de presión lineal independiente del tipo de gas de entre 0 y 10 V. Los manómetros de capacitancia de INFICON utilizan un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura resistente a la corrosión.

Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una extraordinaria duración. Los indicadores del diafragma de la capacitancia (CDG) de INFICON son sensores de presión rentables y de alta calidad para aplicaciones de vacío.

También disponible con interfaz digital EtherCAT.

Ventajas

Menos coste de propiedad, tiempo de calentamiento un 50% más rápido y un consumo energético reducido y eficiente
Fácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, y estándar con dos puntos de ajuste
Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento avanzado y protección del indicador
A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Aplicaciones típicas

Decapado, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
Procesos de vacío químicos y corrosivos
Procesos generales de vacío y de película delgada
Sensor de referencia para el seguimiento de los instrumentos de pruebas en función de los estándares internacionales
Transferencia estándar para mediciones de trazabilidad

Especificaciones

1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05 Torr / mbar

Precisión	% of reading	0.15

Resolución	percent FS	0.003

Señal de salida (analógica)	V (dc)	0 … +10

Tiempo de respuesta	ms	30

Materiales expuestos al vacío		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Precisión	% of reading	0.15

Resolución	percent FS	0.003

Señal de salida (analógica)	V (dc)	0 … +10

Tiempo de respuesta	ms	30

Materiales expuestos al vacío		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Precisión	% of reading	0.15

Resolución	percent FS	0.003

Señal de salida (analógica)	V (dc)	0 … +10

Tiempo de respuesta	ms	130 / 30

Materiales expuestos al vacío		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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Ventajas

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Especificaciones

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