Manómetros de capacitancia

SKY® CDG045D

45°C controlado por temperatura, escala completa 0,05 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG045D---45C
Opciones Drop-in

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Los manómetros CDG045D SKY de INFICON son la mejor opción para medir y controlar la presión totalmente y de manera precisa. Los indicadores CDG045D tienen una temperatura controlada de 45 °C para conseguir una repetibilidad y estabilidad de la señal superiores. Están disponibles para rangos de escala completa, desde 50 mTorr hasta 1.000 Torr, con todos los tipos de bridas e interfaces de bus de campo habituales, y ofrecen una señal de presión lineal independiente del tipo de gas de entre 0 y 10 V. Los manómetros de capacitancia de INFICON utilizan un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura resistente a la corrosión. 

Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una extraordinaria duración. Los indicadores del diafragma de la capacitancia (CDG) de INFICON son sensores de presión rentables y de alta calidad para aplicaciones de vacío.

También disponible con interfaz digital EtherCAT.

Ventajas

  • Menos coste de propiedad, tiempo de calentamiento un 50% más rápido y un consumo energético reducido y eficiente
  • Fácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, y estándar con dos puntos de ajuste
  • Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
  • Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
  • Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento avanzado y protección del indicador
  • A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
  • Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Aplicaciones típicas

  • Decapado, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
  • Procesos de vacío químicos y corrosivos
  • Procesos generales de vacío y de película delgada
  • Sensor de referencia para el seguimiento de los instrumentos de pruebas en función de los estándares internacionales
  • Transferencia estándar para mediciones de trazabilidad

Especificaciones

1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.05 Torr / mbar
Precisión % of reading0.15
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuesta ms30
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Precisión % of reading0.15
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuesta ms30
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Precisión% of reading0.15
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuesta ms130 / 30 
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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