Manómetros de capacitancia

SKY® CDG160D

160°C controlado por temperatura, escala completa 1 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG-100D-160D-200D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Los manómetros para temperaturas altas SKY CDG160D de INFICON son la mejor opción para medir y controlar la presión totalmente y de manera precisa. Los indicadores CDG160D tienen una temperatura controlada de 160 °C para conseguir un rendimiento superior en procesos exigentes de semiconductores y de plasma. Están disponibles para rangos de escala completa, desde 1 Torr hasta 1.000 Torr, con todos los tipos de bridas e interfaces de bus de campo habituales, y ofrecen una señal de presión lineal independiente del tipo de gas de entre 0 y 10 V. 

Los manómetros de capacitancia de INFICON utilizan un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura resistente a la corrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una extraordinaria duración. Los indicadores del diafragma de la capacitancia de INFICON son sensores de presión rentables y de alta calidad para aplicaciones de vacío, de plasma y de semiconductores exigentes.

También disponible con interfaz digital EtherCAT.

Ventajas

  • Menos coste de propiedad, tiempo de calentamiento un 50% más rápido y un consumo energético reducido y eficiente
  • Fácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, y estándar con dos puntos de ajuste
  • Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
  • Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
  • Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento y protección del indicador
  • A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
  • Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI y RoHS

Aplicaciones típicas

  • Decapado, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
  • Procesos químicos y corrosivos a alta temperatura
  • Procesos generales de vacío y de película delgada que requieren protección del indicador

Especificaciones

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
Precisión % of reading0.4
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuesta ms30
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Precisión % of reading0.4
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuesta ms30
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Descargue aquí las especificaciones completas

Descargas

3D Step Files
CDG160D_16KF_ECAT_II
stp 1,3 MB
CDG160D_16CF_ECAT_II
stp 1,4 MB
CDG160D_tube_ECAT_II
stp 1,3 MB
CDG160D_9DSUB_16CF
stp 3,0 MB
CDG160D_9DSUB_4VCR male
stp 3,1 MB
CDG160D_9DSUB_4VCR female
stp 3,0 MB
CDG160D_9DSUB_8VCRf
stp 2,1 MB
CDG160D_9DSUB_8VCR long
stp 3,0 MB
CDG160D_4-VCR female_P-Bus
stp 4,9 MB
CDG160D_8-VCR female long_P-Bus
stp 4,9 MB
CDG160D_16KF_P-Net
stp 1,7 MB
CDG160D_tube_P-Net
stp 1,7 MB
CDG160D_4-VCR male_P-Net
stp 2,0 MB
CDG160D_4-VCR female_P-Net
stp 1,9 MB
CDG160D_4-VCR male_D-Net
stp 5,1 MB
CDG160D_8-VCR female long_D-Net
stp 5,0 MB
CDG160D_4-VCR male_P-Bus
stp 5,0 MB
CDG160D_8-VCR female_P-Net
stp 1,7 MB
CDG160D_8-VCR female long_P-Net
stp 1,9 MB
CDG160D_4-VCR male_ECAT_II
stp 5,7 MB
CDG160D_8-VCR female_long_ECAT_II
stp 5,6 MB
CDG160D_9DSUB_16KF
stp 2,9 MB
CDG160, CDG200D 4VRC female
zip 258,0 KB
CDG160D, CDG200 4VCR male
zip 277,6 KB
CDG160D, CDG200D 16KF
zip 146,5 KB
CDG160D, CDG200D 16CF
zip 151,3 KB
CDG160D, CDG200D 16CF D-Net
zip 179,1 KB
CDG160D, CDG200D 16CF ECAT
stp 1,8 MB
CDG160D, CDG200D 16CF P-Bus
zip 177,9 KB
CDG160D, CDG200D 4VCR D-Net
zip 302,3 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR D-Net
zip 185,0 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR ECAT
zip 213,6 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR female
zip 156,2 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR female long
zip 259,4 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR P-Bus
zip 182,8 KB
CDG160D, CDG200D tube
zip 146,0 KB
CDG160D, CDG200D tube D-Net
zip 175,2 KB
CDG160D, CDG200D tube ECAT
stp 1,3 MB
CDG160D, CDG200D tube P-Bus
zip 173,7 KB
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