SKY® CDG160D
160°C controlado por temperatura, escala completa 1 ... 1000 Torr / mbar
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Los manómetros para temperaturas altas SKY CDG160D de INFICON son la mejor opción para medir y controlar la presión totalmente y de manera precisa. Los indicadores CDG160D tienen una temperatura controlada de 160 °C para conseguir un rendimiento superior en procesos exigentes de semiconductores y de plasma. Están disponibles para rangos de escala completa, desde 1 Torr hasta 1.000 Torr, con todos los tipos de bridas e interfaces de bus de campo habituales, y ofrecen una señal de presión lineal independiente del tipo de gas de entre 0 y 10 V.
Los manómetros de capacitancia de INFICON utilizan un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura resistente a la corrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una extraordinaria duración. Los indicadores del diafragma de la capacitancia de INFICON son sensores de presión rentables y de alta calidad para aplicaciones de vacío, de plasma y de semiconductores exigentes.
También disponible con interfaz digital EtherCAT.
Ventajas
- Menos coste de propiedad, tiempo de calentamiento un 50% más rápido y un consumo energético reducido y eficiente
- Fácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, y estándar con dos puntos de ajuste
- Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
- Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
- Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento y protección del indicador
- A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
- Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI y RoHS
Aplicaciones típicas
- Decapado, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
- Procesos químicos y corrosivos a alta temperatura
- Procesos generales de vacío y de película delgada que requieren protección del indicador
Especificaciones
| Precisión | % of reading | 0.4 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.4 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
