SKY® CDG025D-X3
Escala completa 0,1 ... 1000 Torr / mbar
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
La línea de indicadores del diafragma de la capacitancia SKY CDG025D de INFICON con manómetros de temperatura compensada y de alta precisión, se ha diseñado para obtener un rendimiento estable en entornos duros de herramientas de producción.
Sus componentes electrónicos digitales avanzados mejoran el rendimiento del indicador y ofrecen funciones fáciles de utilizar, como el botón de puesta a cero y la regulación del punto de ajuste. El sensor de cerámica ultrapura y resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad de cero y tiene una expectativa de duración de varios millones de ciclos de presión, incluidas ráfagas atmosféricas. La exclusiva pantalla de sensor (pendiente de patente) protege el indicador de la contaminación de procesos. Un diseño mecánico y resistente, junto con los dispositivos electrónicos digitales, mejoran la compatibilidad de EMC, la estabilidad a largo plazo y la compensación de temperatura. El dispositivo CDG025D establece nuevos estándares para lograr una estabilidad rápida después de encenderlo y una rápida recuperación de la exposición a la presión atmosférica.
Ventajas
- Rangos de escala completa desde 100 mTorr a 1000 Torr
- Rápida estabilidad después del encendido
- Rápida recuperación de presión atmosférica
- Sensor de cerámica resistente a la corrosión
- Excelente estabilidad de señal a largo plazo
- Temperatura compensada
- Sensor doble protegido contra la contaminación
- Función de puesta a cero con un botón
- Fuente de alimentación de rango amplio
- 2 puntos de ajuste
- Interfaz RS232
- Conformidad con sala blanca
Aplicaciones típicas
- Equipo de fabricación de semiconductores para decapado, CVD, PVD, ALD
- Equipo de fabricación de pantallas y almacenamiento de datos
- Equipo de vacío industrial
- Medición general de presión de alta precisión
Especificaciones
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.25 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 130 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.5 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 130 / 30 (3) |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
