Manómetros de capacitancia

SKY® CDG025D-X3, 4-20mA

Escala completa 0,1 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG025D-X3-4-20MA

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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La línea de indicadores del diafragma de la capacitancia SKY CDG025D de INFICON con manómetros de temperatura compensada y de alta precisión, se ha diseñado para obtener un rendimiento estable en entornos duros de herramientas de producción. 

Sus componentes electrónicos digitales avanzados mejoran el rendimiento del indicador y ofrecen funciones fáciles de utilizar, como el botón de puesta a cero y la regulación del punto de ajuste. El sensor de cerámica ultrapura y resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad de cero y tiene una expectativa de duración de varios millones de ciclos de presión, incluidas ráfagas atmosféricas. La exclusiva pantalla de sensor (pendiente de patente) protege el indicador de la contaminación de procesos. Un diseño mecánico y resistente, junto con los dispositivos electrónicos digitales, mejoran la compatibilidad de EMC, la estabilidad a largo plazo y la compensación de temperatura. El dispositivo CDG025D establece nuevos estándares para lograr una estabilidad rápida después de encenderlo y una rápida recuperación de la exposición a la presión atmosférica.

Ventajas

  • Rangos de tamaño real desde 100 mTorr … 1000 Torr
  • Estabilidad rápida tras el encendido
  • Recuperación rápida de la presión atmosférica
  • Sensor de cerámica resistente a la corrosión
  • Excelente estabilidad de señal a largo plazo
  • Temperatura compensada
  • Sensor doble protegido contra la suciedad
  • Un pulsador de función cero
  • Fuente de alimentación de rango amplio
  • 2 puntos de ajuste
  • Interfaz RS232
  • Remote zero included
  • Cumple con habitación limpia
  • Status LED

Aplicaciones típicas

  • Equipamiento de fabricación semiconductor para Etch, CVD, PVD, ALD
  • Almacenamiento de datos y equipos de fabricación de pantallas
  • Equipamiento de vacío industrial
  • Medición de presión general de gran precisión

Especificaciones

1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
Precisión % of reading0.2
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)  
Signal rangemA3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)mA4.0 ... 20.0
Relationship current-pressureRelationship current-pressurelinear
Tiempo de respuesta ms≤100
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Precisión % of reading0.2
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)  
Signal rangemA3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)mA4.0 ... 20.0
Relationship current-pressureRelationship current-pressurelinear
Tiempo de respuesta ms≤100
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Precisión % of reading0.2
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)  
Signal rangemA3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)mA4.0 ... 20.0
Relationship current-pressureRelationship current-pressurelinear
Tiempo de respuesta ms≤100
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Precisión % of reading0.25
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)  
Signal rangemA3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)mA4.0 ... 20.0
Relationship current-pressureRelationship current-pressurelinear
Tiempo de respuesta ms≤100
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Precisión % of reading0.5
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)  
Signal rangemA3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)mA4.0 ... 20.0
Relationship current-pressureRelationship current-pressurelinear
Tiempo de respuesta ms≤100
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Descargue aquí las especificaciones completas
El producto se utiliza en los siguientes mercados
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