Manómetros de capacitancia

SKY® CDG025D

Escala completa 0,1 ... 1000 Torr / mbar

Sky CDG025D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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La línea de indicadores del diafragma de la capacitancia SKY CDG025D de INFICON con manómetros de temperatura compensada y de alta precisión, se ha diseñado para obtener un rendimiento estable en entornos duros de herramientas de producción. 

Sus componentes electrónicos digitales avanzados mejoran el rendimiento del indicador y ofrecen funciones fáciles de utilizar, como el botón de puesta a cero y la regulación del punto de ajuste. El sensor de cerámica resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad de cero y tiene una expectativa de duración de varios millones de ciclos de presión, incluidas ráfagas atmosféricas. La exclusiva pantalla de sensor (pendiente de patente) protege el indicador de la contaminación de procesos. Un diseño mecánico y resistente, junto con los dispositivos electrónicos digitales, mejoran la compatibilidad de EMC, la estabilidad a largo plazo y la compensación de temperatura. El dispositivo CDG025D establece nuevos estándares para lograr una estabilidad rápida después de encenderlo y una rápida recuperación de la exposición a la presión atmosférica.

Ventajas

  • Rangos de escala completa desde 100 mTorr a 1000 Torr
  • Rápida estabilidad después del encendido
  • Rápida recuperación de presión atmosférica
  • Sensor de cerámica resistente a la corrosión
  • Excelente estabilidad de señal a largo plazo
  • Temperatura compensada
  • Sensor protegido contra la contaminación
  • Función de puesta a cero con un botón
  • Fuente de alimentación de rango amplio

Aplicaciones típicas

  • Equipo de fabricación de semiconductores para decapado, CVD, PVD, ALD
  • Equipo de fabricación de pantallas y almacenamiento de datos
  • Equipo de vacío industrial
  • Medición general de presión de alta precisión

Especificaciones

1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
Precisión% of reading0.2
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuestams30
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
Precisión% of reading0.2
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuestams30
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
Precisión% of reading0.2
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuestams30
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
Precisión% of reading0.25
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuestams130
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
Precisión% of reading0.5
Resoluciónpercent FS0.003
Señal de salida (analógica)V (dc)0 … +10
Tiempo de respuestams130
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
Descargue aquí las especificaciones completas

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