ガス分析

技術
質量分析 光学分光法 燃焼分析 ガスクロマトグラフ
プロセス
PVD CVD ALD エッチ リソグラフィー
圧力
< E-5 Torr > E-4 Torr〜1E-2 Torr 1E-2Torr〜1Torr > 1 Torr
検出限界
1-10 ppm < 1 ppm < 10 ppb >10 ppm
市場
HVAC/R 産業用製造業 真空成膜 セキュリティ エネルギー 半導体IDM&ファウンドリ 半導体装置メーカー ディスプレイ 製薬・メディカル モビリティ&オートモーティブ 研究・アカデミア 分析機器 バッテリー
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