Analizadores ópticos de gases
Quantus® HP100
Detección de fugas en tiempo real, detección de puntos finales y supervisión de procesos
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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El analizador de gases INFICON Quantus HP100 se basa en la tecnología de espectroscopia de emisión óptica por autoplasma (SPOES) y está diseñado para proporcionar detección de fugas en tiempo real, detección de puntos finales y supervisión de procesos durante la fabricación de semiconductores. El Quantus HP100 tiene una sensibilidad excelente, un formato compacto y ofrece un amplio rango de presiones operativas sin necesidad de costosas bombas, lo que lo hace muy adecuado para la supervisión y protección de procesos en la mayoría de las herramientas de semiconductores.
Características
- Rango de funcionamiento de 1 Torr - 450 Torr para el argón y de 1 Torr - 120 Torr para el nitrógeno (Varía para otras tipos de gases)
- Bajos límites de detección <1 ppm
- Fácil instalación mediante una conexión estándar KF25
- Muestreo rápido (20 Hz máximo)
- Ocupa poco espacio (alto x ancho x largo): 162 x 153 x 210 mm [6,4 x 6,0 x 8,3 pulg.]
- Bajo mantenimiento, no necesita bombas ni consumibles
- Cómoda célula de plasma sustituible in situ
- Asistencia experta en todo el mundo para sus necesidades particulares de proceso
Especificaciones
| Presión de funcionamiento | 1 Torr - 450 Torr (dependiendo de la aplicación) |
| Rendimiento del espectrómetro | Longitudes de onda de 200 a 850 nanómetros (UV-VIS) Resolución a escala completa de 16 bits, 3648 píxeles |
| Límite de detección | < 1 ppm (depentiendo de la aplicación) |
| Tiempo de exposición | Mínimo de 1 ms |
| Accesorio de vacío | KF25 |
El producto se utiliza en los siguientes mercados
