Manómetros de capacitancia

SKY® CDG200D

200°C controlado por temperatura, escala completa 1 ... 1000 Torr / mbar

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Los manómetros para temperaturas altas SKY CDG200D de INFICON son la mejor opción para medir y controlar la presión totalmente y de manera precisa. Los indicadores CDG200D tienen una temperatura controlada de 200 °C para conseguir un rendimiento superior en procesos exigentes de semiconductores y de plasma. Están disponibles para rangos de escala completa, desde 1 Torr hasta 1.000 Torr, con todos los tipos de bridas e interfaces de bus de campo habituales, y ofrecen una señal de presión lineal independiente del tipo de gas de entre 0 y 10 V.

Los manómetros de capacitancia de INFICON utilizan un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura resistente a la corrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una extraordinaria duración. Los indicadores del diafragma de la capacitancia de INFICON son sensores de presión rentables y de alta calidad para aplicaciones de vacío, de plasma y de semiconductores exigentes.

También disponible con interfaz digital EtherCAT.

Ventajas

Menos coste de propiedad, tiempo de calentamiento un 50% más rápido y un consumo energético reducido y eficiente
Fácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, y estándar con dos puntos de ajuste
Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento y protección del indicador
A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI y RoHS

Aplicaciones típicas

Decapado, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
Procesos químicos y corrosivos a alta temperatura
Procesos generales de vacío y de película delgada que requieren protección del indicador

Especificaciones

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

Precisión	% of reading	0.4

Resolución	percent FS	0.003

Señal de salida (analógica)	V (dc)	0 … +10

Tiempo de respuesta	ms	30

Materiales expuestos al vacío		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Precisión	% of reading	0.4

Resolución	percent FS	0.003

Señal de salida (analógica)	V (dc)	0 … +10

Tiempo de respuesta	ms	30

Materiales expuestos al vacío		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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SKY® CDG100-200D Brochure

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Vacuum Instrumentation with EtherCAT Folleto

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Fichas técnicas

CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar DE

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SKY® CDG160D CDG200D Datasheet

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CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar JA

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CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar KO

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CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH

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CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar ES

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Planos acotados

CDG160D dimension drawing

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Manuales

Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE

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SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-200Dhs EtherCAT New Generation Communication Protocol

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CDG160D, CDG200D manual

pdf • 1,4 MB • Chino • Manual de instrucciones

CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)

pdf • 1,1 MB • Alemán • Manual de instrucciones

CDG160D, CDG200D - manual

pdf • 1,3 MB • Inglesa • Manual de instrucciones

CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)

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SKY® CDG025D-200D RS232C Communication Protocol

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SKY® CDG025D-200D RS232C Kommunikationsanleitung

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SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-100Dhs EtherCAT Communication Protocol

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SKY® CDG045D-200D DeviceNet Communication Protocol

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SKY® CDG045D-200D PROFIBUS Communication Protocol

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3D Step Files

SKY® CDG200D 3D 16KF 15DSUB

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SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f P-BUS

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SKY® CDG200D 3D4-VCR-m P-BUS

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SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m E-CAT

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SKY® CDG200D 3D Tube P-NET

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SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f P-NET

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SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m 9DSUB

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SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f 9DSUB

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SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m 15DSUB

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SKY CDG200D 16CF 9DSUB

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SKY CDG200D 16CF P-NET

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SKY CDG200D 16KF 9DSUB

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SKY CDG200D 16KF P-BUS

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SKY CDG200D 16KF P-NET

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SKY CDG200D 4-VCR-f E-CAT

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SKY CDG200D 4-VCR-m P-NET

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SKY CDG200D 8-VCR-f 9DSUB

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SKY CDG200D 8-VCR-f long 9DSUB

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SKY CDG200D tube 9DSUB

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Otros

SKY® CDG045D, Edge®, EtherCAT New Generation ESI V2

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SKY® CDG045D EtherCAT ESI

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SKY® CDG045D Software EDS

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SKY® CDG045D Software GSD

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El producto se utiliza en los siguientes mercados

Instrumentación analítica

El mercado de los instrumentos analíticos apoya con sus herramientas altamente sofisticadas a los usuarios en un amplio abanico de aplicaciones y mercados. INFICON colabora con los fabricantes de las tecnologías más avanzadas que ayudan a analizar e identificar las estructuras más pequeñas o las composiciones de los elementos, ya sean gases, líquidos o sólidos.

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Display/ Pantallas

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Investigación y academia

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