Stripe® CDG100Dhs
100°C controlado por temperatura, escala completa 0,1 ... 1000 Torr / mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Los indicadores del diafragma de la capacitancia de alta velocidad Stripe de INFICON son los instrumentos de medición de vacío más rápidos y precisos del mercado. Su tiempo de respuesta inferior a 2 ms, en combinación con su interfaz de bus de campo EtherCAT, abren la puerta a un campo totalmente nuevo de aplicaciones. El sensor de cerámica ultrapura, resistente a la corrosión y con una temperatura controlada ofrece una estabilidad superior a largo plazo, junto con una estabilidad de cero de última generación.
El indicador Stripe incluye la exclusiva pantalla de sensor patentada de INFICON que protege el indicador de derivados del proceso no deseados. El indicador Stripe de INFICON utiliza un concepto de calentamiento innovador que le permite ofrecer una superficie fría al tacto y, además, su gran rapidez le permitirá obtener un aumento de la productividad sin precedentes, lo que lo convierten en el instrumento de vacío más avanzado de su clase.
Ventajas
- Gran productividad – Tiempo de respuesta inferior a 2 ms
- Integración flexible: bus de campo EtherCAT
- Larga duración. Sensor de cerámica probado.
- Sin recalibración: estabilidad a escala completa de 90ppm/año
Aplicaciones típicas
- Deposición de capa atómica
- Control de proceso de alta velocidad
- PVD, CVD y decapado
- aplicaciones generales de vacío de alta temperatura
Especificaciones
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 2 ... 20 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 2 ... 20 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.4 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 2 ... 20 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
