Vacuómetro de cátodo frío
MPG40X
ATM a vacuómetro de ultra alto vacío
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
Los indicadores de magnetrón invertido de Pirani MPG400 y MPG401 de INFICON miden desde 5 x 10-9 hasta 1 atmósfera (3.8 x 10-9 Torr hasta la atmósfera). La combinación de tecnologías en una única unidad compacta con una señal de salida analógica y logarítmica reduce en gran medida la complejidad de la instalación, configuración e integración.
Ventajas
- Indicador combinado: magnetrón invertido y Pirani
- Amplio rango de mediciones desde los 5 x 10-9 mbar hasta 1 atmósfera
- Sin filamento que se queme
- Excelentes propiedades de ignición
- Fácil de limpiar
- Paso sellado con metal o con FPM
- Indicador LED de conexión de alto voltaje
- Señal de salida analógica y logarítmica
Aplicaciones típicas
- Control de presión de alto vacío
- Presión base para los sistemas de evaporación y pulverización
- Medición general de vacío y control en los rangos de vacío medio y alto
Especificaciones
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
| Rango de medición (aire, N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| Precisión (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repetibilidad | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| Temperatura admisible | ||
| Funcionamiento (ambiente) | °C | +5 … +55 |
| Almacenamiento | °C | –40 … +65 |
| Horneado (1) | °C | 150 |
| Tensión de alimentación | ||
| En el calibre | V (dc) | +15 … +30 |
| En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| Ondulación | V (p-p) | ≤1 |
| Consumo de potencia | W | ≤2 |
| Materiales expuestos al vacío | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) Materiales expuestos al vacío (2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor. | ||
| Rango de medición (aire, N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| Precisión (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repetibilidad | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| Temperatura admisible | ||
| Funcionamiento (ambiente) | °C | +5 … +55 |
| Almacenamiento | °C | –40 … +65 |
| Horneado (1) | °C | 150 |
| Tensión de alimentación | ||
| En el calibre | V (dc) | +15 … +30 |
| En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| Ondulación | V (p-p) | ≤1 |
| Consumo de potencia | W | ≤2 |
| Materiales expuestos al vacío | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) Materiales expuestos al vacío (2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor. | ||
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
| MPG400 FPM sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| 351-010 | MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-011 | MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| 351-020 | MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-021 | MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-022 | MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG400 FPM sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG401 metal-sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG400 FPM sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| BN846469-T | Spare measurement system MPG400 |
| MPG401 metal-sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-998 | MPG400 Repair set. |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-996 | MPG401 Repair set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-999 | MPG400 Maintenance set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-997 | MPG401 Maintenance set |
Descargas
Manuales
3D Step Files
351-010 MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
zip
•
133,7 KB
351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
zip
•
142,8 KB
351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
zip
•
137,5 KB
351-020 MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF
zip
•
149,0 KB
351-021 MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
zip
•
153,3 KB
351-022 MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
zip
•
157,9 KB
El producto se utiliza en los siguientes mercados
