Vacuómetro de cátodo frío
MPG40X
ATM a vacuómetro de ultra alto vacío
Opciones Drop-in
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Los indicadores de magnetrón invertido de Pirani MPG400 y MPG401 de INFICON miden desde 5 x 10-9 hasta 1 atmósfera (3.8 x 10-9 Torr hasta la atmósfera). La combinación de tecnologías en una única unidad compacta con una señal de salida analógica y logarítmica reduce en gran medida la complejidad de la instalación, configuración e integración.
Ventajas
- Indicador combinado: magnetrón invertido y Pirani
- Amplio rango de mediciones desde los 5 x 10-9 mbar hasta 1 atmósfera
- Sin filamento que se queme
- Excelentes propiedades de ignición
- Fácil de limpiar
- Paso sellado con metal o con FPM
- Indicador LED de conexión de alto voltaje
- Señal de salida analógica y logarítmica
Aplicaciones típicas
- Control de presión de alto vacío
- Presión base para los sistemas de evaporación y pulverización
- Medición general de vacío y control en los rangos de vacío medio y alto
Especificaciones
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
| Rango de medición (aire, N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| Precisión (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repetibilidad | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| Temperatura admisible | ||
| Funcionamiento (ambiente) | °C | +5 … +55 |
| Almacenamiento | °C | –40 … +65 |
| Horneado (1) | °C | 150 |
| Tensión de alimentación | ||
| En el calibre | V (dc) | +15 … +30 |
| En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| Ondulación | V (p-p) | ≤1 |
| Consumo de potencia | W | ≤2 |
| Materiales expuestos al vacío | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) Materiales expuestos al vacío (2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor. | ||
| Rango de medición (aire, N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| Precisión (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repetibilidad | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| Temperatura admisible | ||
| Funcionamiento (ambiente) | °C | +5 … +55 |
| Almacenamiento | °C | –40 … +65 |
| Horneado (1) | °C | 150 |
| Tensión de alimentación | ||
| En el calibre | V (dc) | +15 … +30 |
| En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| Ondulación | V (p-p) | ≤1 |
| Consumo de potencia | W | ≤2 |
| Materiales expuestos al vacío | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) Materiales expuestos al vacío (2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor. | ||
Número de parte
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
| MPG400 FPM sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| 351-010 | MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-011 | MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| 351-020 | MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-021 | MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-022 | MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG400 FPM sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG401 metal-sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG400 FPM sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| BN846469-T | Spare measurement system MPG400 DN25 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Número de parte | Descripción |
| BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-998 | MPG400 Repair set. |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-996 | MPG401 Repair set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-999 | MPG400 Maintenance set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-997 | MPG401 Maintenance set |
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