Vacuómetro de cátodo frío
MPG40X
ATM a vacuómetro de ultra alto vacío

Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Los indicadores de magnetrón invertido de Pirani MPG400 y MPG401 de INFICON miden desde 5 x 10-9 hasta 1 atmósfera (3.8 x 10-9 Torr hasta la atmósfera). La combinación de tecnologías en una única unidad compacta con una señal de salida analógica y logarítmica reduce en gran medida la complejidad de la instalación, configuración e integración.
Ventajas
- Indicador combinado: magnetrón invertido y Pirani
- Amplio rango de mediciones desde los 5 x 10-9 mbar hasta 1 atmósfera
- Sin filamento que se queme
- Excelentes propiedades de ignición
- Fácil de limpiar
- Paso sellado con metal o con FPM
- Indicador LED de conexión de alto voltaje
- Señal de salida analógica y logarítmica
Aplicaciones típicas
- Control de presión de alto vacío
- Presión base para los sistemas de evaporación y pulverización
- Medición general de vacío y control en los rangos de vacío medio y alto
Especificaciones
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
Rango de medición (aire, N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
Precisión (N2) | ||
1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
Repetibilidad | ||
1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
Temperatura admisible | ||
Funcionamiento (ambiente) | °C | +5 … +55 |
Almacenamiento | °C | –40 … +65 |
Horneado (1) | °C | 150 |
Tensión de alimentación | ||
En el calibre | V (dc) | +15 … +30 |
En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2) | V (dc) | +16 … +30 |
Ondulación | V (p-p) | ≤1 |
Consumo de potencia | W | ≤2 |
Materiales expuestos al vacío | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | |
(1) Materiales expuestos al vacío (2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor. |
Rango de medición (aire, N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
Precisión (N2) | ||
1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
Repetibilidad | ||
1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
Temperatura admisible | ||
Funcionamiento (ambiente) | °C | +5 … +55 |
Almacenamiento | °C | –40 … +65 |
Horneado (1) | °C | 150 |
Tensión de alimentación | ||
En el calibre | V (dc) | +15 … +30 |
En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2) | V (dc) | +16 … +30 |
Ondulación | V (p-p) | ≤1 |
Consumo de potencia | W | ≤2 |
Materiales expuestos al vacío | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
(1) Materiales expuestos al vacío (2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor. |
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
MPG400 FPM sealed | |
Número de parte | Descripción |
351-010 | MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF |
351-011 | MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF |
351-012 | MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F |
MPG401 metal-sealed | |
Número de parte | Descripción |
351-020 | MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF |
351-021 | MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF |
351-022 | MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F |
351-023 | Magnetic shield |
MPG400 FPM sealed | |
Número de parte | Descripción |
351-023 | Magnetic shield |
MPG401 metal-sealed | |
Número de parte | Descripción |
351-023 | Magnetic shield |
MPG400 FPM sealed | |
Número de parte | Descripción |
BN846469-T | Spare measurement system MPG400 |
MPG401 metal-sealed | |
Número de parte | Descripción |
BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
MPG400 FPM sealed | |
Part Number | Description |
BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
MPG401 metal-sealed | |
Part Number | Description |
BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
MPG400 FPM sealed | |
Part Number | Description |
BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
MPG401 metal-sealed | |
Part Number | Description |
BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
MPG400 FPM sealed | |
Part Number | Description |
351-994 | MPG40x Ignition tool set |
MPG401 metal-sealed | |
Part Number | Description |
351-994 | MPG40x Ignition tool set |
MPG400 FPM sealed | |
Part Number | Description |
351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
MPG401 metal-sealed | |
Part Number | Description |
351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
MPG400 FPM sealed | |
Part Number | Description |
351-998 | MPG400 Repair set. |
MPG401 metal-sealed | |
Part Number | Description |
351-996 | MPG401 Repair set |
MPG400 FPM sealed | |
Part Number | Description |
351-999 | MPG400 Maintenance set |
MPG401 metal-sealed | |
Part Number | Description |
351-997 | MPG401 Maintenance set |
Descargas
Manuales
3D Step Files
351-010 MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
zip
•
133,7 KB
351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
zip
•
142,8 KB
351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
zip
•
137,5 KB
351-020 MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF
zip
•
149,0 KB
351-021 MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
zip
•
153,3 KB
351-022 MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
zip
•
157,9 KB
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