Vacuómetro de cátodo frío

MAG470

Magnetrones invertidos

MAG470

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El medidor de vacío de magnetrón invertido MAG470 es para todas las aplicaciones de vacío ultraalto. El rango de medición es de 5x10-11 mbar a 1x10-2 mbar.

Ventajas

  • No se quema el filamento
  • Versión ampliada, horneado del sensor hasta 250°C
  • Excelentes propiedades de ignición
  • Fácil de limpiar
  • Paso de alimentación con sellado metálico
  • Indicador LED de alta tensión activada
  • Señal de salida analógica logarítmica

Aplicaciones típicas

  • Control de la presión de vacío ultraalto
  • Presión base para sistemas de evaporación y sputtering
  • Medición y control general del vacío en el rango de vacío medio y alto

Especificaciones

MAG470
MAG470 extended
Measurement range (air, N2)mbar
Torr
5x10-11 … 1x10-2
3.8x10-11 … 7.5x10-3
Accuracy  
1x10-9 ... 1x10-3 mbar% of reading≈±30
Repeatability  
1x10-9 ... 1x10-3 mbar% of reading≈±5
Temperature  
Operation (ambient)°C+5 ... +55
Storage°C-40 ... +65
Bake-out°C250 1)
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+15 ... +30
At supply unit with max. cable length (3)V (dc)+16 ... +30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤2
Materials exposed to vacuum Stainless steel, Al2O3, Ag
   
(1) Without electronics magnetic shielding
(2) 250°C in defined area, see dimension
(3) The minimum voltage of the supply unit must be increased proportionally to the length of the sensor cable
Measurement range (air, N2)mbar
Torr
5x10-11 … 1x10-2
3.8x10-11 … 7.5x10-3
Accuracy  
1x10-9 ... 1x10-3 mbar% of reading≈±30
Repeatability  
1x10-9 ... 1x10-3 mbar% of reading≈±5
Temperature  
Operation (ambient)°C+5 ... +55
Storage°C-40 ... +65
Bake-out°C250 2)
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+15 ... +30
At supply unit with max. cable length (3)V (dc)+16 ... +30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤2
Materials exposed to vacuum Stainless steel, Al2O3, Ag
   
(1) Without electronics magnetic shielding
(2) 250°C in defined area, see dimension
(3) The minimum voltage of the supply unit must be increased proportionally to the length of the sensor cable
Descargue aquí las especificaciones completas
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
MAG470
Número de parteDescripción
399-360MAG470 DN 40 CF-F, FCC
  
MAG470 extended
Número de parteDescripción
399-361MAG470 DN 40 CF-F, extendet
MAG470
Número de parteDescripción
351-023Magnetic shield
  
MAG470 extended
Número de parteDescripción
351-023Magnetic shield
MAG470
Número de parteDescripción
351-997MPG401 Maintenance set
351-990Repair set IKR 060/070/26x/270 MAG470
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-994MPG40x Ignition tool set
  
MAG470 extended
Número de parteDescripción
351-990Repair set IKR 060/070/26x/270 MAG470
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-994MPG40x Ignition tool set
351-997MPG401 Maintenance set
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