1. Transpector® CPM 3
Espectrómetros de masas

Transpector® CPM 3

Sistema de supervisión de procesos rápido y listo para su uso

Transpector-CPM

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information

You can unsubscribe from these communications at any time. For more information please review our Privacy Policy.

Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!
Back

Rendimiento, fiabilidad y versatilidad

Transpector CPM de INFICON ha sido el sistema de supervisión del proceso de analizador de gases residuales (RGA) líder en el mercado durante más de una década. Ahora, Transpector CPM 3 proporciona una sensibilidad y velocidad de medición líderes en la industria a través de un sistema de bombeo y entrada probado y que integra un nuevo sensor y una nueva electrónica. Transpector CPM 3 es el monitor de procesos RGA ideal para procesos de semiconductores nuevos y establecidos, como ALD, CVD, PVD y decapado.

Transpector CPM 3 proporciona una rentabilidad probada a nuestros clientes mediante:

  • Tecnología de medición líder en la industria
  • Arquitectura flexible y resistente
  • Facilidad de mantenimiento
  • Soporte de productos inmejorable

Características

  • Analizador de gases residuales para análisis y supervisión de procesos en tiempo real de degasificación de 300 mm, ALD, decapado y CVD.
  • Preparado para ALD con una velocidad de medida de 1,8 ms por punto (555 puntos por segundo).
  • Fiabilidad y durabilidad probadas en la mayoría de las aplicaciones CVD y de decapado.
  • En cuanto a la integración de aplicaciones, el Transpector CPM se ha convertido en una potente herramienta de diagnóstico y supervisión de procesos cuando se integra con el software FabGuard y recibe el apoyo de los expertos de aplicaciones de primera clase de INFICON.
  • El tamaño compacto facilita la integración en equipos semiconductores de producción.
  • Hexblock™ tiene hasta tres entradas de presión y un área de superficie reducida para minimizar los tiempos de respuesta y las reacciones de la superficie.
  • El indicador del diafragma de la capacitancia (CDG) permite a los usuarios supervisar la presión del proceso y proteger automáticamente el sistema ante variaciones de la presión.
  • La calibración automática garantiza la estabilidad y la precisión de datos a largo plazo de forma que sea adapten entre sensores y entre herramientas.

Especificaciones

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
Rango total de presión5E-7 - 1E-3 Torr
Límite de detección< 1 ppm
Presión de funcionamiento del sistema1E-8 Torr - 1.2 atm
Sensibilidad (baja emisión)> 4E-6 Amps/Torr
Sensibilidad (alta emisión)> 2E-5 Amps/Torr
Rango total de presión5E-7 - 1E-3 Torr
Límite de detección< 2 ppm
Presión de funcionamiento del sistema1E-8 Torr - 1.2 atm
Sensibilidad (baja emisión)> 2E-6 Amps/Torr
Sensibilidad (alta emisión)> 1E-5 Amps/Torr
Rango total de presión5E-7 - 1E-3 Torr
Límite de detección< 4 ppm
Presión de funcionamiento del sistema1E-8 Torr - 1.2 atm
Sensibilidad (baja emisión)> 1E-6 Amps/Torr
Sensibilidad (alta emisión)> 5E-6 Amps/Torr
Descargue aquí las especificaciones completas

Consumibles

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
Número de parteDescripción
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
Número de parteDescripción
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
Número de parteDescripción
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Piezas de repuesto

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
Número de parteDescripción
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
Número de parteDescripción
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
Número de parteDescripción
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
El producto se utiliza en los siguientes mercados
Analytical-Instrumentation-Navi
Instrumentación analítica

El mercado de los instrumentos analíticos apoya con sus herramientas altamente sofisticadas a los usuarios en un amplio abanico de aplicaciones y mercados. INFICON colabora con los fabricantes de las tecnologías más avanzadas que ayudan a analizar e identificar las estructuras más pequeñas o las composiciones de los elementos, ya sean gases, líquidos o sólidos. 

Más información
Battery-Market-Navi
Baterías

Desde la producción de electrodos hasta las pruebas de final de línea

Más información
Display-Navi
Display/ Pantallas

INFICON respalda la tecnología punta y permite fabricar productos de visualización de la máxima calidad

Más información
energy-market-navi
Energía

El Mercado de la Energía comercializa y suministra energía a una amplia variedad de fabricantes, distribuidores y usuarios finales, cada uno con sus propias necesidades. 

Más información
Industrial-Manufacturing-Navi-2
Fabricación industrial

La industria manufacturera se encarga de la fabricación de productos destinados al uso industrial. El vacío se utiliza más a menudo para garantizar un entorno limpio y es necesario para varios procesos, ya que sin vacío no funcionan.

Más información
Mobility_and_Automotive-Navi
Automoción

Pruebas de fugas fiables en un sector en evolución.

Más información
Pharma_and_Medical-Navi
Farmacia y medicina

Aumentar la productividad y ayudar a cumplir las normas de conformidad y los requisitos de calidad en el sector farmacéutico 

Más información
Research-and-Academia-Navi
Investigación y academia

Revelar los misterios más recónditos del universo a través de la investigación fundamental. Proporcionando hoy la innovación que potencia las tecnologías del mañana.

Más información
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
IDM y fundición de semiconductores

Sensores adaptados para una amplia gama de aplicaciones, que garantizan la seguridad del producto, un mayor rendimiento y la máxima productividad.

Más información
Vacuum_Coating-Navi
Recubrimientos al vacío

Los mercados de revestimiento al vacío van mucho más allá de la óptica y se están expandiendo rápidamente a ámbitos, industrias y capas de película que eran casi inimaginables hace sólo diez años.

Más información
Necesitamos su consentimiento para el contenido de video
Más información