質量分析計
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質量分析
トランスペクターAPXマルチプレッシャー
マルチプレッシャーALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
トランスペクターAPXマルチプレッシャー
- 過酷な化学環境下でも長寿命を実現するxPartsコーティング
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
質量分析計
トランスペクター® APX ALD 単圧
単一圧力ALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
トランスペクター® APX ALD 単圧
- 過酷な環境下でも長寿命を実現するxパーツコーティング
- 高温単圧インレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
質量分析計
Transpector® CPX
高度なプロセスモニタリングのためのコンパクトなプロセスエキスパート
Transpector® CPX
- HexBlockマルチプレッシャーサンプリング注入口
- 検出限界200ppb以下
- 業界をリードするポンピング速度
- システム容積の30%減少
質量分析計
Transpector® XPR 3+
極限PVDプロセスモニタリング四重極型質量分析計
Transpector® XPR 3+
- 業界トップクラスの最高使用圧力
- オプションの過圧隔離弁インターロック
- 最大100amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® MPH
高性能四重極型質量分析計
Transpector® MPH
- 9桁のダイナミックレンジ
- 業界トップクラスのデータ収集速度
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- 最大300amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® MPS
多目的四重極型質量分析計
Transpector® MPS
- 9桁のダイナミックレンジ
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- オプションの連続ダイノード電子増倍管
- 最大200amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® CPM 3
ベースラインからプロセス圧力まで、多目的なプロセスモニタリングが可能です。
Transpector® CPM 3
- 半導体プロセスモニターに最適
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 差動ポンプ内蔵
質量分析計
Transpector® SPS
目標圧力範囲でのプロセスモニタリング
Transpector® SPS
- 対象となる高圧プロセス
- 単一圧力サンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 統合された差動ポンプシステム
質量分析計
QMG 700
QMG 700 分析質量分析計は、検出の壁を打ち破り、プロセスを次のレベルのイノベーションに推進します。
QMG 700
- 質量範囲オプション 1-512 amu
- 9 decade以上のダイナミックレンジ
- 極めて高速の測定速度0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
質量分析計
Transpector® CPM
Transpector CPMをモバイルトラブルシューティング機器として使用可能
Transpector® CPM
- 必要な場所にTranspector CPMを設置するための柔軟性
- 狭い場所にも設置可能な省スペース性
- Transpector CPMを動かすために必要なものをすべて収納できる完全なシステム