質量分析計
INFICONの高性能質量分析計は、半導体製造プロセス、工業コーティングと真空プロセス、研究、環境監視のための正確なガス分析を提供します。私たちの高度な技術は、装置のダウンタイムを最小限に抑えながら、品質管理とプロセス効率を向上させる微量ガスのリアルタイム検出を可能にします。
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質量分析計
QMG 800
QMG 800 分析質量分析計 - 検出限界を超え、プロセスを革新の新たな高みへ
QMG 800
- 先進のデジタル・プラットフォームでOPC UA経由の通信が可能
- シームレスなOEM統合
- 多様なアプリケーションのためのイオン源オプション
- FabGuard®ソフトウェア一式と完全に互換性があり、比類のない診断が可能。
- ラジカルや非イオン化粒子からのノイズを最小化する90°オフアクシスSEM
- シングルイオン検出機能による比類のない精度と感度
質量分析
トランスペクタ®ーAPXマルチプレッシャー
マルチプレッシャーALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
トランスペクタ®ーAPXマルチプレッシャー
- 過酷な化学環境下でも長寿命を実現するxPartsコーティング
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
質量分析計
トランスペクター® APX ALD 単圧
単一圧力ALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
トランスペクター® APX ALD 単圧
- 過酷な環境下でも長寿命を実現するxパーツコーティング
- 高温単圧インレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
質量分析計
Transpector® CPX
高度なプロセスモニタリングのためのコンパクトなプロセスエキスパート
Transpector® CPX
- HexBlockマルチプレッシャーサンプリング注入口
- 検出限界200ppb以下
- 業界をリードするポンピング速度
- システム容積の30%減少
質量分析計
Transpector® XPR 3+
極限PVDプロセスモニタリング四重極型質量分析計
Transpector® XPR 3+
- 業界トップクラスの最高使用圧力
- オプションの過圧隔離弁インターロック
- 最大100amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® MPH
高性能四重極型質量分析計
Transpector® MPH
- 9桁のダイナミックレンジ
- 業界トップクラスのデータ収集速度
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- 最大300amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® MPS
多目的四重極型質量分析計
Transpector® MPS
- 9桁のダイナミックレンジ
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- オプションの連続ダイノード電子増倍管
- 最大200amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® SPS
目標圧力範囲でのプロセスモニタリング
Transpector® SPS
- 対象となる高圧プロセス
- 単一圧力サンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 統合された差動ポンプシステム