質量分析計
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質量分析
トランスペクターAPXマルチプレッシャー
マルチプレッシャーALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
トランスペクターAPXマルチプレッシャー
- 過酷な化学環境下でも長寿命を実現するxPartsコーティング
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
質量分析計
トランスペクター® APX ALD 単圧
単一圧力ALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
トランスペクター® APX ALD 単圧
- 過酷な環境下でも長寿命を実現するxパーツコーティング
- 高温単圧インレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
質量分析計
Transpector® XPR 3+
極限PVDプロセスモニタリング四重極型質量分析計
Transpector® XPR 3+
- 業界トップクラスの最高使用圧力
- オプションの過圧隔離弁インターロック
- 最大100amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® MPH
高性能四重極型質量分析計
Transpector® MPH
- 9桁のダイナミックレンジ
- 業界トップクラスのデータ収集速度
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- 最大300amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® MPS
多目的四重極型質量分析計
Transpector® MPS
- 9桁のダイナミックレンジ
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- オプションの連続ダイノード電子増倍管
- 最大200amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® CPM 3
ベースラインからプロセス圧力まで、多目的なプロセスモニタリングが可能です。
Transpector® CPM 3
- 半導体プロセスモニターに最適
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 差動ポンプ内蔵
質量分析計
Transpector® SPS
目標圧力範囲でのプロセスモニタリング
Transpector® SPS
- 対象となる高圧プロセス
- 単一圧力サンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 統合された差動ポンプシステム
質量分析計
Transpector® CPM
Transpector CPMをモバイルトラブルシューティング機器として使用可能
Transpector® CPM
- 必要な場所にTranspector CPMを設置するための柔軟性
- 狭い場所にも設置可能な省スペース性
- Transpector CPMを動かすために必要なものをすべて収納できる完全なシステム
質量分析計
QMG 700
QMG 700 分析質量分析計は、検出の壁を打ち破り、プロセスを次のレベルのイノベーションに推進します。
QMG 700
- 質量範囲オプション 1-512 amu
- 9 decade以上のダイナミックレンジ
- 極めて高速の測定速度0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar