ヘリウム

ヘリウムリークディテクター

Protec® P3000(XL)

信頼できるスニファーリークテスト

Protec® P3000(XL)

• I-Guideオペレーターガイドモードにより、オペレーターが適切な手法で正しい位置をテストする事を確実にする。
• オペレーターのエラーを防止する改善されたシステムデザインによりリークの見逃しを低減。
• マルチアラーム機能により、アラームが見過ごされないようにする。
• 内蔵 PRO-Check リファレンスリークにより、いつでも生産ラインにて容易で素早い較正が可能。

製品詳細

ヘリウムおよび水素スニッファーリーク検出器

XL3000flex

確実性と最速のスループットを実現するHIGH FLOW技術

XL3000flex

• INFICON高フロー技術
• は比類のない測定の確度を実現します - 漏れの見逃しをストップします!
• アクセスしにくいエリアの漏れも見つけます
• 未経験のオペレーターが確実に漏れを見つけられるようにします

製品詳細

Helium Leak Detector

UL6000 Fab

リーク検出のスピードと精度を定義

UL6000 Fab

• すべての測定範囲においてリークへの高速レスポンスを確実にするI-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates)
• 優れた感度と応答性、そして素早いクリーンアップ性能を実現する為、すべての圧力範囲において高いヘリウム圧縮比と最適化された高いヘリウム排気速度を提供する特別なマルチインレット型ターボ分子ポンプ
• 大容量チャンバーを含むあらゆるテスト対象において、極めて高速な応答性能を実現するブースターターボ分子ポンプ
• 現場の実績で証明された、長期にわたり正確で高い再現性のある結果が得られるトラブルフリー/メンテナンスフリーデザインによるINFICON磁場偏向型質量分析計
• 自己防衛機能によりヘリウムや粉塵汚染からUL6000を保護、また自動パージサイクルによりUL6000をいつでも使用可能な状態にスタンバイ

製品詳細

ヘリウムリークディテクター

UL1000

困難なリーク検出作業にスピードと感度、信頼度

UL1000

• 15桁以上の広範な測定範囲
• 短いポンプダウンおよび応答時間
• 可働型オールメタルハウジングにより、操作性を保ちながら取り扱いが簡便
• 全測定範囲におけるリークへの最高速の応答時間を保証する I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm for Leak rates)

製品詳細

ヘリウムリークディテクター

LDS3000

INFICONはLDS3000リークディテクタによって、リークテストシステムにおける成功の新たな段階を切り開きます。

LDS3000

• より小型で統合が容易
• Communicative Diversity
• 高い信頼性 

製品詳細

ヘリウムリークディテクター

Modul1000

高信頼性、インテリジェント、高再現性のプラットフォームによるヘリウム・リークテストが生産を最適化

Modul1000

• アップタイムを最大化する信頼性
• インテリジェントなデザインは測定の確実さを向上させる
• 自動テスト工程も簡単に設定可能

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ヘリウムリークディテクター

LDS3000 AQ

LDS3000 AQは、シンプルな蓄積チャンバ内でフォーミングガスまたはヘリウムを使用できる、初のリークディテクタです。

LDS3000 AQ

• 部品のリークテストを行うための、コスト効率のよいソリューション
• 真空チャンバーと同じほど信頼性の高い試験結果を、空気中での試験に近いコストで実現
• Industry 4.0統合のためのフィールドバスインターフェースにより、これから先も使用可能
• 温度と湿度を独立に測定するので、信頼性と再現性の高いテスト結果が得られる

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ヘリウムリークディテクター

UL3000 Fab Series

半導体アプリケーションのリークチェックのニーズに合わせて設計されています。

UL3000 Fab Series

• 10-9～10-12 mbar-l/sの範囲で高速測定を行うI-CALソフトウェア・アルゴリズムで時間を短縮 
• 高い測定感度を維持しながら、バックグラウンドの高速抑制のために改良されたインテリジェント機能を持つI-ZERO 2.0を使用した最も効率的なリークチェック 
• 真空およびスニファーリークサーチに適用可能 

製品詳細

ヘリウムリークディテクター

T-Guard2

INFICON T-Guard2リーク検出センサは、高価なハード真空ヘリウムリーク検出と、ウォーターバスや圧力減衰の ような低感度リークテスト方法との間のギャップを縮めます。

T-Guard2

• 低い運用コスト 
• 製品の特性を制限しない 
• すべてのリークを確実に発見する 
• 簡単な操作性

製品詳細

Helium Leak Detector

UL1000 Fab

renowned standard when it comes to economic helium vacuum leak testing in industrial or semiconductor environments

UL1000 Fab

• 速いポンプダウンとレスポンス時間によりリークテスト検査の手間を最小限に低限
• 選択可能なバックグラウンド抑制機能（iZERO) を用いて、複数回のリークテストが不要
• 高い操作性の設計により、限られたスペースでのメンテナンス箇所への簡単なアクセスを可能
• 堅牢なダブルホットフィラメントイオンソース（3年間保証）と逆拡散方式システムにより総コスト（TCO）を削減
• 回転式のディプレイ、視覚および聴覚によるリーク量表示、そしてオプションのハンドリモコン操作による簡易操作を実現

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