PPG550
ATM TO MEDIUM VACUUM GAUGE
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El nuevo medidor combinado Pirani Piezo de INFICON (PPG550) se basa en la tecnología de sensores MEMS (sistemas microelectromecánicos) más avanzada del mercado.
La tecnología de combinación Pirani/Piezo miniaturizada en el proceso MEMS permite la construcción de un sensor muy pequeño y, por tanto, que ocupa poco espacio, lo que hace posible mantener muy reducida la altura total del dispositivo de medición.
Además de la ventaja de la baja altura, un Pirani basado en la tecnología MEMS también ofrece la ventaja de medir con mayor profundidad y precisión en el rango HV que un Pirani clásico. En combinación con un sensor piezoeléctrico MEMS, montado en la misma brida, el medidor Pirani se convierte en un verdadero vacuómetro de amplio rango, ampliando el rango de medición mucho más allá de los 1000 mbar habituales, también hacia la atmósfera. Al mismo tiempo, el sensor piezoeléctrico MEMS proporciona una medición de presión independiente del tipo de gas en el rango de 2 ... 1333 mbar. Otra ventaja de las tecnologías mencionadas es la mayor resistencia a las fuerzas de aceleración y a las vibraciones.
Por último, pero no por ello menos importante, el nuevo PPG550 de INFICON puede utilizarse para sustituir directamente a los denominados MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Transductores de presión de vacío piezoeléctricos absolutos", así como a los MKS925 "Micro Pirani™ Transductores de presión de vacío". Inficon ofrece los mismos conectores/asignación de pines, salida analógica y compatibilidad RS232/485.
Ventajas
- Independiente del tipo de gas por encima de 2 mbar - permite un venteo seguro con cualquier mezcla de gases
- Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera - para una detección fiable y rápida de la presión atmosférica
- Versátil en la orientación de montaje - proporciona libertad de ingeniería en el diseño de herramientas
- Señal de salida analógica seleccionable para una fácil integración del sistema
- Interfaces digitales RS232/ RS485
- Conformidad y estándares: CE, EN, UL, CSA, RoHS
- Capaz de sustituir directamente al MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Transductores Piezoeléctricos Absolutos de Presión de Vacío" así como al MKS925 "Micro Pirani™
- Transductores de Presión de Vacío".
- DualTrans™ MicroPirani™ son marcas registradas de MKS Instruments, Andover, MA.
- Conformidad y estándares: CE, EN, UL, CSA, RoHS
Aplicaciones típicas
- Utilización en Equipos analíticos/espectrómetros de masas
- Deposición física de vapor
- Medición en línea anterior
- Relleno de gas
Especificaciones
| Measurement range (N2) | mbar | 1x10-6 … 1333 |
| Accuracy | ||
| 100 ... 1333 mbar | % of reading | 0.5 |
| 800 ... 1099 mbar | % of reading | 0.25 |
| 100 ... 800 mbar | % of reading | 0.5 |
| 2 ... 99.9 mbar | % of reading | 1 |
| 1 x 10-4 ... 1.99 mbar | % of reading | 5 |
| 1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar | % of reading | 25 |
| Temperature compensation | °C | +10 … +50 |
| Temperature measurement absolute accuracy | °C | +/-1.5 (0 … +80) |
| Supply voltage at the gauge | V (dc) | +12 … 30 |
Número de parte
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