Tecnología de detección por RF
ADC100
Detector de Arco de CC ADC100
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
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El sistema ADC100 se conecta a un generador de CC para detectar arcos en el plasma en tiempo real. Esto ofrece la capacidad de interrumpir un proceso de obleas e informar a los ingeniero sobre un daño potencial en el producto o en el hardware.
Características
- Integración del software en la herramienta a través del sistema de análisis e integración de sensores FabGuard
- Recopilación de datos a 250 kHz por canal
- Cables personalizados se pueden conectar a la mayoría de los generadores de CC
- Detecta los arcos rápidamente con herramientas de análisis predefinidas
- Capacidad de detección de punto de equivalencia
- Asistencia de la aplicación en todo el mundo
Descargas
El producto se utiliza en los siguientes mercados
