FabGuard® FDC
Ha llegado el momento de una fabricación más inteligente
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
FabGuard® es un amplio conjunto de herramientas de ingeniería que utiliza datos en tiempo real de equipos de proceso, sensores avanzados, dispositivos IoT, medidores y componentes de subfabricación/instalaciones para proporcionar el sistema de detección de fallos más completo disponible en la industria.
Supervisión de procesos en tiempo real
El sistema FabGuard FDC de INFICON proporciona una capacidad sin precedentes para conectar, recopilar y traducir datos en información significativa. Los ingenieros utilizan esta información para desarrollar conocimientos profundos sobre la capacidad de las herramientas y la optimización de los procesos. Además de trabajar junto con técnicas FDC probadas, el potente aprendizaje automático no supervisado con SmartFDC® permite a FabGuard detectar automáticamente cuándo se producen cambios.
Ventajas
- Integración perfecta de equipos de proceso y datos de sensores
- Computación de borde
- En las instalaciones o en la nube
- Análisis en tiempo real y ejecución por ejecución
- Conectividad de clase mundial con sensores, medidores, IoT/ IIoT, herramientas de proceso
- Aprendizaje automático de máquinas
Supervisión inteligente de procesos
FabGuard es un sistema inteligente de supervisión y control de procesos que permite a los ingenieros recopilar datos de una amplia gama de sensores, medidores, instalaciones y otros dispositivos para desarrollar la visión más completa de las herramientas de proceso de la industria.
- Sensores: RGA, OES, RF/DC, Microbalanza de cristal de cuarzo
- Medidores: Vacío de amplio rango, vacío de alta precisión, caudal másico, caudal líquido
- Instalaciones: Bombas, Reducción, Calentadores, Enfriadores, Suministro de productos químicos
- Alta Velocidad: Acelerómetro, Detección de Arco, Alta Velocidad Analógica
Recopilar los datos correctos en el momento adecuado es fundamental para construir la detección integral de fallos y permite la caracterización del proceso. La capacidad de recopilación dinámica de datos de FabGuard también maximiza el ancho de banda de la herramienta para aumentar la amplitud de los datos recopilados.
La recopilación de datos se ajusta sobre la marcha para adaptarse a las necesidades del proceso, los sensores, los componentes de apoyo y la herramienta.
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Los equipos de servicio de campo y desarrollo de software de INFICON están formados por experimentados ingenieros de procesos y equipos dedicados a resolver los problemas de las fábricas del mundo real.
La experiencia de INFICON abarca todos los diámetros de oblea, tamaños de panel plano, geometrías de dispositivos, tipos de sustrato y fábricas que funcionan sin automatización hasta fábricas totalmente automatizadas.
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