Sensores y pasamuros
Sensor de pulverización
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
El sensor de pulverización de INFICON se ha diseñado específicamente para su uso en cualquier proceso de pulverización. El cuerpo del sensor y los tubos de refrigeración son de cobre al berilio chapado en oro, de modo que proporcionan una refrigeración más eficaz durante la pulverización. El imán integrado en la cabeza del sensor reduce el calentamiento excesivo provocado por electrones sin carga en los sistemas de pulverización mediante su desviación con el campo magnético externo. El diseño del soporte de cristal de carga trasera permite sustituir el cristal fácilmente sin necesidad de quitar la cabeza del sistema.
Características
- Tubos de refrigeración y cuerpo del sensor en cobre al berilio chapado en oro para una eficacia máxima durante la refrigeración
- Imán para desviar los electrones sin carga del cristal del monitor
- Fácil instalación con tubos de agua flexibles para obtener flexibilidad en la instalación del sensor
- Cristal de carga trasera para su fácil sustitución
Especificaciones
| Temperatura máxima de cocción sin agua | 105°C |
| Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo | 400° C |
| Cambio de cristal | Rear-loading |
| Imán | ALNICO 5 Alloy |
Número de parte
Accesorios
Consumibles
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 750-618-G1 | Sputtering Sensor (sensor only, feedthrough not included) |
| Nombre | Descripción |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs
|
| Sputtering Sensor | |
| Número de parte | Descripción |
| 750-420-G1 | Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors) |
| Nombre | Descripción |
|---|---|
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Sputtering Sensor | |
| Número de parte | Descripción |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 007-049 | Crystal Holder, Sputtering Sensor |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-047 | Sputtering head cover with water lines |
| 007-009 | Magnet for sputtering head cover |
| 070-0440 | Retaining ring (installs onto shaft of shutter assembly) |
| 070-0442 | Retaining ring (installs onto shaft of shutter assembly) |
| 070-0441 | Spacer (installs onto shaft of shutter assembly) |
| 082-044 | Teflon screw (for leaf spring) |
| 082-029-P1 | 2-56 x 1/8 in. set screw for 750-619-G1 sputtering head body |
| 750-009-P2 | Pivot cover (installs onto shaft of shutter assembly) |
| 750-046-G2 | Shutter assembly for pneumatic shutter assembly |
| 750-048-P1 | Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies |
| 750-115-P4 | Coupling (installs onto bellows assembly) |
| 750-169-P4 | Bellows assembly for pneumatic shutter assembly |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 750-175-P1 | Insulator (underneath leaf spring) |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-619-G1 | Sputtering head body with coax connector |
| 750-626-P1 | Spring for sputtering head cover
|
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
El producto se utiliza en los siguientes mercados
