Espectrómetros de masas

QMG 700

Más allá de los límites de detección gracias a su gran estabilidad y su resolución refinada

QMG700

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Rápidos progresos en la tecnología de fabricación de semiconductores basados en soluciones rápidas y fiables de análisis de gas. En la fábrica o en el laboratorio, escoja el espectrómetro de masas analítico QMG 700 de INFICON para superar las barreras de detección y lograr que su proceso alcance un mayor nivel de innovación. El QMG 700 ofrece un rendimiento sin igual y una gran adaptabilidad gracias a su diseño modular. Mejore sus ventajas competitivas con el QMG 700 y alcance un nivel superior de capacidades de medición.

Escoja entre una amplia gama de opciones de fuente de iones, filtro de masas y fuente de alimentación de RF para adaptar su QMG 700 a aplicaciones específicas. El QMG 700 puede gozar de un rango dinámico de más de nueve órdenes de magnitud y de límites de detección del orden de ppb, lo que lo convierte en el instrumento ideal para mediciones de vacío muy elevado. El QMG 700 ofrece resolución unitaria en todo el rango de masas, e incluso mayor a masas bajas. El instrumento es una opción magnífica para las mediciones más exigentes, incluyendo análisis isotópicos, como la separación de helio y deuterio. Controle su proceso con el QMG 700 y confíe en su gran estabilidad a largo plazo para proteger las mediciones críticas.

Los más de 40 años de excelencia en la espectrometría de masas analítica por parte de INFICON garantizan que el QMG 700 es la elección ideal para su próxima inversión en análisis de gases. Para una precisión constante y unos resultados exactos, puede confiar en el QMG 700 de INFICON y en nuestra experiencia de aplicaciones a escala mundial.

Características

  • Opciones de rango de masas de 1-512 amu
  • Más de nueve décadas de rango dinámico
  • Velocidades de medición extremadamente rápidas 0,125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • Alta resolución en todo el rango de masas: Masas 1, 2 y 3 claramente separables en el rango de ppb
  • Múltiples opciones de fuentes de iones diferentes
  • Opciones de multiplicador de electrones de dinodo discreto o continuo
  • Opción de E/S: 8 entradas/salidas analógicas y 32 entradas/salidas digitales
  • Potente software con interfaz flexible y fácil de usar

Aplicaciones típicas

  • Espectrometría de masas por descarga de gas
  • Detección de puntos equivalentes
  • Seguimiento del material de deposición
  • Espectrometría de masas de iones secundarios

Especificaciones

QMA 400
QMA 410
QMA 430
Rango de masa1-512 amu (1)
Longitud del sensor441.5 mm
Diámetro de la barra8 mm
Material de la barraMolybdenum
BridaDN 63 CF-F
Tipo de detectorFaraday/SEV 217
Presión de funcionamiento máx. (FC)1 E-4 mbar
Presión de funcionamiento máx. (EM)1 E-5 mbar
Sensibilidad5 E-4 A/mbar
Presión parcial detectable mínima1 E-15 mbar
Resolución (ajustable)0.3 - 7 amu
Cociente de presiones parciales< 0.5 ppb
Temperatura máxima de funcionamiento Sensor150 °C
Temperatura máxima de cocción400 °C
Temperatura máxima de funcionamiento Electrónica40 °C
Velocidad de medición0.125 ms - 60 s/amu
Fuente de alimentación100 - 240 VAC

 

(1) QMA 400 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-512 uma.
Las especificaciones del QMA 400 se basan en un rango de masa de 512 uma, configuración del sistema de fuente de iones de haz cruzado              

(2) QMA 410 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-128 uma.
Las especificaciones del QMA 410 se basan en una configuración del sistema en el rango de masas de 128 uma y fuente de iones de haz cruzado.
Rango de masa1-340 amu (2)
Longitud del sensor548 mm
Diámetro de la barra16 mm
Material de la barraMolybdenum
BridaDN 100 CF-F
Tipo de detectorFaraday/SEV 217
Presión de funcionamiento máx. (FC)1 E-4 mbar
Presión de funcionamiento máx. (EM)1 E-5 mbar
Sensibilidad1 E -3 A/mbar
Presión parcial detectable mínima5 E-16 mbar
Resolución (ajustable)0.2 - 2.2 amu
Cociente de presiones parciales< 0.5 ppb
Temperatura máxima de funcionamiento Sensor150 °C
Temperatura máxima de cocción400 °C
Temperatura máxima de funcionamiento Electrónica40 °C
Velocidad de medición0.125 ms - 60 s/amu
Fuente de alimentación100 - 240 VAC

 

(1) QMA 400 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-512 uma.
Las especificaciones del QMA 400 se basan en un rango de masa de 512 uma, configuración del sistema de fuente de iones de haz cruzado              

(2) QMA 410 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-128 uma.
Las especificaciones del QMA 410 se basan en una configuración del sistema en el rango de masas de 128 uma y fuente de iones de haz cruzado.
Rango de masa1-300 amu
Longitud del sensor441.5 mm
Diámetro de la barra8 mm
Material de la barraStainless Steel
BridaDN 63 CF-F
Tipo de detectorFaraday/SEV 217
Presión de funcionamiento máx. (FC)1 E-4 mbar
Presión de funcionamiento máx. (EM)1 E-5 mbar
Sensibilidad2 E-4 A/mbar
Presión parcial detectable mínima1 E-15 mbar
Resolución (ajustable)0.3 - 7 amu
Cociente de presiones parciales< 0.5 ppb
Temperatura máxima de funcionamiento Sensor150 °C
Temperatura máxima de cocción400 °C
Temperatura máxima de funcionamiento Electrónica40 °C
Velocidad de medición0.125 ms - 60 s/amu
Fuente de alimentación100 - 240 VAC

 

(1) QMA 400 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-512 uma.
Las especificaciones del QMA 400 se basan en un rango de masa de 512 uma, configuración del sistema de fuente de iones de haz cruzado              

(2) QMA 410 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-128 uma.
Las especificaciones del QMA 410 se basan en una configuración del sistema en el rango de masas de 128 uma y fuente de iones de haz cruzado.

Número de parte

QMA 400
QMA 410
QMA 430
490-715QMA 400 with Grid Ion Source
450-119Deckplatte kpl. DMM spez.
490-601QMA 400 for PPM 422 standard
490-700QMA 400 with Axial Ion Source
490-701QMA 400 with Crossbeam
490-702QMA 400, SEM 217, Crossbeam, Yt
490-810QMA 410 with Axial Ion Source
490-812QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT
490-817QMA 410, SEM 217, crossbeam, Yt
490-821QMA 410 Quadrup.-Analysator
490-830QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218
490-901QMA 430 mit CB-IQ, Faraday
490-910QMA 430 with Axial-IQ, 90° SEV217
490-913QMA 430 with Grid Ion Source
490-914QMA 430 grid Ion Source, vac.-annealed
490-916QMA 430, CB-IQ without SEV217
490-917QMA 430 with CB Ion source, Gas Tight
490-918QMA 430, CB Ion Source without SEV217
490-943QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT
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