Presentación de Transpector® CPX: rendimiento y fiabilidad líderes del sector

El rendimiento y la precisión son primordiales en la industria de semiconductores. Muchos procesos de fabricación carecen de capacidades de supervisión de procesos en línea in situ, como los RGA, para proporcionar una visión en tiempo real de las condiciones del proceso y de la cámara. Como resultado, se enfrentan a tiempos de inactividad no planificados, resultados inconsistentes y preocupaciones sobre la fiabilidad a largo plazo.
El analizador de gases residuales (RGA) Transpector® CPX de INFICON está diseñado específicamente para hacer frente a los modernos retos a los que se enfrentan los fabricantes de semiconductores. Al proporcionar datos procesales y de cámara fiables y en tiempo real, los propietarios de herramientas y procesos pueden tomar decisiones significativas para maximizar la producción y mejorar el rendimiento de los procesos.
Con Transpector CPX, las fábricas de semiconductores ya no tienen que depender de los sistemas existentes que no proporcionan la información necesaria. He aquí cuatro formas en las que la solución cambia las reglas del juego:
- Velocidad y sensibilidad: Con una velocidad de medición y una sensibilidad líder en el sector, Transpector CPX puede supervisar procesos de capas atómicas, que requieren la deposición de películas extremadamente finas y uniformes, y detectar cualquier variación no deseada.
- Precisión de datos en tiempo real: La calibración automatizada garantiza la fiabilidad de los datos a largo plazo, asegurando que la monitorización de su proceso siga siendo precisa, sin importar los cambios ambientales o las variaciones de una herramienta a otra.
- Diseño compacto: Con una reducción del 30% en el volumen del sistema en comparación con las generaciones anteriores, Transpector CPX se integra perfectamente en entornos con limitaciones de espacio sin comprometer el rendimiento.
- Flexibilidad y versatilidad: La entrada HexBlock configurable permite hasta tres entradas de presión, adaptándose a diversas aplicaciones, tanto si supervisa un proceso de alta presión como si necesita flexibilidad para configuraciones complejas.
Mediante la integración de sistemas de supervisión de procesos en línea in situ como el Transpector CPX, los fabricantes de semiconductores pueden garantizar resultados más coherentes y predecibles, aumentar la eficacia operativa y reducir los costosos tiempos de inactividad. Tome el control de su línea de producción, evite errores costosos y manténgase por delante de la competencia.