Implementación de FabGuard® EPI para la supervisión
FabGuard® FDC de INFICON ofrece un sistema inteligente de supervisión y notificación diseñado para garantizar que las recetas limpias se ejecuten a tiempo.
FabGuard® FDC de INFICON ofrece un sistema inteligente de supervisión y notificación diseñado para garantizar que las recetas limpias se ejecuten a tiempo. Mediante la utilización de indicadores de rendimiento de los equipos (EPI) y de informes automatizados, los ingenieros pueden mantener un control preciso del proceso con una intervención manual mínima.
FabGuard realiza un seguimiento de la ejecución de las recetas limpias mediante un sistema de detección de eventos. Cuando se inicia una receta limpia, se dispara el evento CEID (identificación de eventos de recolección) de la herramienta, mientras que una bandeja visual de tiempo transcurrido desde el evento ayuda a identificar cualquier irregularidad mediante el seguimiento de los intervalos de ejecución.
Mediante un temporizador EPI, los ingenieros pueden controlar el tiempo transcurrido desde la última ejecución de una receta limpia. El sistema incluye un filtro lógico para garantizar que el temporizador sólo realiza un seguimiento de la receta pertinente, al tiempo que verifica el estado de ejecución antes de detener el temporizador. Este enfoque garantiza un registro preciso del proceso.
Para abordar la necesidad de un seguimiento específico de la receta, FabGuard captura el ID de la receta e introduce un breve retardo de 3 segundos para diferenciar entre los eventos de inicio y de parada, reduciendo los falsos positivos. El filtrado por nombre de receta garantiza que sólo se informe de las recetas limpias relevantes.
Se generan informes personalizados para realizar un seguimiento de los tiempos de ejecución de las recetas y activar alertas automáticas cuando una receta no se ha ejecutado en 12 horas. Las alarmas simuladas proporcionan a los ingenieros información en tiempo real, lo que les permite intervenir y evitar problemas antes de que comience el procesamiento de las obleas.
El impacto: Mejora del control y la fiabilidad de los procesos
Con sólo configurar tres disparadores EPI y un único informe, FabGuard ayuda a las fábricas a:
- Evitar el procesamiento de obleas en condiciones no deseadas, reduciendo los desechos y las pérdidas de rendimiento.
- Minimizar la variabilidad del proceso y los fallos de las herramientas, lo que mejora el rendimiento de la cámara.
- Automatizar el control, reduciendo la necesidad de supervisión manual y garantizando un funcionamiento uniforme de la cámara.
Este enfoque mejora la fiabilidad del proceso y ayuda a mantener la estabilidad de la fabricación de semiconductores al minimizar las desviaciones inesperadas.
Optimización de la fabricación de semiconductores con FabGuard
En el vertiginoso mundo de la fabricación de semiconductores, la detección precoz de incoherencias en la cámara es crucial para mantener altos rendimientos y procesos estables. Con el sistema EPI de FabGuard, las fábricas pueden supervisar fácilmente la ejecución de recetas limpias, recibir alertas automáticas y actuar con rapidez antes de que los problemas se agraven.
¿Está listo para optimizar su proceso de fabricación de semiconductores?
FabGuard tiene las herramientas que usted necesita para un monitoreo y control precisos. Póngase en contacto con nosotros hoy mismo para saber cómo podemos mejorar sus operaciones.