핫 이온 게이지
결과를 얻으려면 필터를 재설정하세요.
INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지인 BAG402는 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.
- 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- 과압을 감지하여 필라멘트가 조기 단선되지 않도록 보호
- 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 BAG302는 1.3 × 10-9mbar ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 Torr ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.
- 1.3 × 10-9 ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위
- 수명이 긴 2개의 표준 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
- 내장 디스플레이, 셋포인트, 아날로그 출력 신호 및 표준 통합 RS485 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
- 간편한 설정, 작동 및 프로그래밍을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.
- 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
- 대부분의 누드 고온 이온 게이지 헤드에 대해 드롭인
- 광범위한 방출 전류(100 μA ~ 10 mA)
- 단일/이중 산화이트륨 코팅 이리듐 및 이중 텅스텐 필라멘트 음극 어셈블리와 함께 사용 가능
INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 ~ 대기)를 측정합니다.
- 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
- 수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG402-S는 하나의 작은 장치에서 5×10-10 ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)를 측정하며 두 게이지의 기능을 합니다.
- 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- Pirani 인터록이 필라멘트의 조기 단선 방지
- 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다.
- BCG450은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 측정장치 설치 및 설정 복잡성 감소
- 10 Torr 넘는 가스 유형 독립 압력 측정으로 모든 가스 혼합물에 대해 보다 신뢰성 있는 로드록 제어 가능
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
- 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다.
- HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
- 고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
- 5×10-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지