Vacuum Gauge Controller
IM540
IM540
多目的熱陰極電離パッシブゲージコントローラ
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ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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バキュームゲージコントローラIM540は、10-12mbarと大気圧の間の範囲で完全な真空測定と制御を提供する多用途のイオン化ゲージコントローラです。 アプリケーションやユーザーのニーズに応じて、IM540はピラニ、静電容量式ダイアフラム、ベイヤードアルパート、エクストラクターの4つの異なる真空測定原理を組み合わせることができるため、ワンソリューションとなります。このコントローラにより、複雑なプロセス制御システムに信頼性の高い完全な統合が可能になります。
メリット
- IE414（Bayard-Alpert）およびIE514（Extractor）熱陰極イオン化ゲージの操作に対応
- PSG5xx（ピラニ）、PCG55x（ピラニ-キャパシタンスダイアフラム）、CDG（キャパシタンスダイアフラム）アクティブゲージラインから2つのアクティブゲージを接続して操作可能
- パラメータ、センサー、一般設定のメニュー表示による簡単操作
- RS232通信インターフェース内蔵、プロフィバスDPインターフェースボード（IF 540 P）オプション
- ヒステリシス調整可能な2つの設定ポイント（オプションで7ポイント
- 高分解能16ビットA/Dコンバータ
- 2つのプログラム可能な0～10 Vチャートレコーダ出力
ゲージの概要
IE414
IE514
PSG5xx
PCG55x
CDG (e.g. CDG025D, CDG045D)
| ゲージ原理 | バヤールアルパート、ホットカソードイオン化 |
| 圧力範囲 | 2×10-11 ... 1×10-2 mbar（モジュラーエミッション電流使用時） |
| ベークアウト温度 | ≤400 °C |
| ゲージ原理 | 抽出器、熱陰極イオン化 |
| 圧力範囲 | 2×10-12 ... 1×10-4 mbar |
| ベークアウト温度 | ≤400 °C |
| ゲージ原理 | ピラーニ（アクティブゲージ式） |
| 圧力範囲 | 8x10-4 mbar to ATM |
| ベークアウト温度 | ≤80 / 250 °C (モデルによる) |
| ゲージ原理 | Pirani-Capacitance diaphragm (active gauge type) |
| 圧力範囲 | 5×10-5 mbar to 1.5×103 mbar |
| ベークアウト温度 | ≤80 / 250 °C (モデルによる) |
| ゲージ原理 | Capacitance diaphragm (active gauge type) |
| 圧力範囲 | 4 user-selectable pressure decades |
| ベークアウト温度 | モデルによる |
測定構成
チャンネル 1 + 2
チャンネル 3 + 4
| ゲージ原理 | ホットカソードイオン化ゲージ |
| ゲージモデル | IE414 (ベイヤードアルパート) IE514（エクストラクター） |
| ゲージ原理 | アクティブゲージ ピラニ ピラニキャパシタンスダイアフラム キャパシタンスダイアフラム |
| ゲージモデル | PSG5xx PCG55x CDG（例：CDG025D、CDG045D） |
インターフェイスボード
IF 540 P
IF 540 P
| 通信プロトコル | PROFIBUSインターフェースおよびリレー（1.5 A） |
仕様
IM540
IM540
| 測定チャンネル | 4 |
| 表示 | LCD、LEDバックライト |
| 表示率 | 4 s-1 |
| 測定範囲 | 1 x 10-12 ... 1100 mbar |
| 測定単位（選択可能） | mbar、Torr、Pa、hPa、ミクロン、V |
| 測定範囲切替 | 自動または10進プリセレクト |
| チャートレコーダ出力 | 対数0～10V（1V/dec）またはリニア0～10V |
| インターフェイス | RS232C、プロフィバス（IF540P使用時） |
| 閾値切替 (シングルまたはインターバル) | 2 フローティング切り替え接点付き |
| 電源 | 90 ... 264 V (ac) |
| 周波数 | 47 ... 63 Hz |
| 動作温度 | +5 ... +40°C |
品番
品番
アクセサリー
| 399-660 | IM540真空計コントローラb |
| 399-661 | IE414 DN 40 CF-F |
| 399-676 | 交換用カソード IE414 |
| 399-663 | IE514 DN 40 CF-F |
| 399-677 | 交換用カソード IE514 |
| インターフェースボード | |
| 399-670 | IF540P プロフィバスDPインターフェースボード |
| IE414/514用ゲージヘッドケーブル、80 °C | |
| 399-680 | 3 m |
| 399-681 | 5 m |
| 399-682 | 10 m |
| 399-685 | 50 m |
| ゲージヘッドケーブル、IE414/514、200 °C 用 | |
| 399-686 | 3 m |
| 399-687 | 5 m |
| 399-688 | 10 m |
| 399-690 | 50 m |
この製品は以下の市場で使用されています
