キャパシタンスマノメーター

SKY® CDG025D

フルスケール 0.1~1000Torr / mbar

Sky CDG025D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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高精度な温度補償型マノメータ製品であるINFICON SKY CDG025Dキャパシタンスダイアフラムゲージは、厳しい製造装置環境で安定した性能を発揮するようデザインされています。高度なデジタル回路によって、ゲージ性能を強化し、ワンプッシュボタンでゼロ点設定、設定値調整など、容易に操作できる機能を提供します。耐腐食性に優れたセラミックセンサはゼロ点の安定性を向上させ、大気圧暴露を含む数百万回の圧力サイクルという長寿命を提供します。ユニークなセンサシールド(特許申請中)がゲージをプロセス汚染から守ります。ロバストな機械デザインとデジタル電子回路が、EMC互換性、長期安定性と温度制御を向上させました。CDG025Dは、電源起動後のすばやい安定化と、大気圧暴露からのすばやいリカバリーに関して、新たなスタンダードとなりました。

利点

  • 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
  • 電源投入後にすばやく安定
  • 大気暴露からのすばやいリカバリー
  • 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
  • 優れた長期信号安定性
  • 温度補正済み
  • 汚染からのセンサーを保護
  • ワンプッシュボタンでゼロ点設定
  • 広範囲の入力電源

標準的なアプリケーション

  • エッチング、CVD、PVD、ALD半導体製造装置
  • データストレージおよびディスプレイ製造装置
  • 工業用真空装置
  • 一般的な高精度圧力測定

仕様

1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
精度 % of reading0.25
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms130
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
精度 % of reading0.5
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms130
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

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本製品は以下のマーケットで使用されています。
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