ホットイオンゲージ
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
中・超高真空シングルゲージ
- 超高真空～高真空の広範囲に対応する純粋なベイヤードアルパート測定システム
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- ガルバニック絶縁エレクトロニクスによる迷走電流の回避
- 圧力ジャンプを回避するスライディング・エミッション・モード
ATM～超高真空デュアルゲージ
- デュアルゲージ（2つの検出素子）により、広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- フィラメントの早期焼損を防ぐピラニインターロック保護機能
- 圧力ジャンプを防ぐスライディング・エミッション・モード
ATMから超高真空トリプルゲージ®まで
- 3 + 1センシングエレメントにより、非常に広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- 10Torr以上のガス種に依存しない圧力測定により、信頼性の高いロードロック制御を実現します。
- 差圧測定により、大気圧の変化による不確実性を排除
INFICONシングルベイヤードアルパート熱陰極電離ゲージBAG402は、5 × 10-10～2.7×10-2 mbar (3.75 × 10-10～5 × 10-2 Torr)の測定範囲をカバーしています。
- 測定範囲は5×10-10 mbar～2.7×10-2 mbar (3.75×10-10 Torr～5×10-2 Torr)
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- 過圧検出機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
ATMから超高真空熱陰極計へ
他社製PBR260ピラニ/ベイヤード-アルパートの熱陰極ゲージにドロップイン対応
- 品番IGG27000はPT R27000に適合します。
- 品番IGG27001はPT R27001に適合します。
- 品番IGG27002はPT R27002に適合します。
INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10 mbarから大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。
- 5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、Bayard-Alpertシステムを、フィラメントが寿命前に焼き切れることや、高圧でのオペレーションで過剰に汚染されることから守ります。
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメント
NFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10から大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。
- 5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
INFICONベイヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(トリプルゲージ™)BCG450は、コンパクトかつ経済的な1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、プロセスと、5×10-10～1500 mbar（3.75×10-10～1125 Torrまで）の基準気圧を計測することができます。
- BCG450はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
- 10 Torr以上のガス種に依存しない気圧計測は、どのような混合ガスに対しても、より信頼できるロードロックコントロールを実現します。
- ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10-6 mbar～大気圧(1.5×10-6 Torr～大気圧)までの圧力を計測できます。
- HPG400はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
- 高圧熱陰極電離ゲージは、1×10-5 … 1 mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果を達成
- 5×10-2と1 mbarの間でユーザーが選べる熱陰極電離放出のアクチベーション
INFICONシングルベアード-アルパート熱陰極電離真空計BAG302は、1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)の広い測定範囲をカバーしています。
- 測定範囲は1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)
- 酸化イットリウムでコーティングされた、長寿命の2本のイリジウムフィラメントを標準装備
- ディスプレイを内蔵し、セットポイント機能とアナログ出力を備え、統合型のRS485デジタルインターフェースを標準装備した、オールインワンアクティブゲージ
- 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドを装備しており、セットアップ、操作、プログラミングが容易
INFICONのベアード-アルパートパッシブ真空ゲージヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空コントローラVGC083AおよびVGC083Bと組み合わせて使用できるように設計されています。
- 実証済みの、信頼性の高いゲージヘッドデザイン
- ほとんどの非被覆熱陰極電離ゲージヘッドに適合
- 幅広い放出電流に対応(100 μA～10 mA)
- シングル/デュアルのイットリア被覆イリジウムおよびデュアルタングステンフィラメント陰極アセンブリが利用可能
電離真空計の新しいスタンダード。
- 高真空および超高真空領域で高い測定精度が要求される用途向けに開発
- ISO/TS 6737に準拠した電極システム構成
- 小さな不確かさで予測可能な相対ガス感度により、すべてのガス種に対して真の圧力が得られます。