Trigon™の紹介

主な属性と機能

Trigon™の心臓部には、真空測定に優れたベイヤードアルパートホットイオンゲージがあります。5×10-10～2×10-2mbarの高真空領域での真空測定を必要とするアプリケーション用に設計されたTrigon™は、ピンポイントの精度を提供します。

• 信頼性の高いデュアルフィラメント Trigon™は、優れた精度だけでなく、比類のない再現性と長寿命を保証するデュアルフィラメントシステムを誇ります。半導体製造のような要求の高いアプリケーションでは、この冗長性により中断のない動作が保証されます。
   
• 安定性を保証 ガルバニック絶縁エレクトロニクス： 迷走電流とはお別れしましょう。Trigon™は、安定した性能を維持するガルバニック絶縁エレクトロニクスを搭載しているため、様々な業界の複雑な真空システムに最適です。
   
• スムーズな操作： スライディング・エミッション・モード： エミッション・ストリーム切り替え時の圧力ジャンプやフリーズは過去のものです。Trigon™はスライディングエミッションモードを導入し、シームレスで安定した運転を実現しています。
   
• 長持ちする製品：拡張ベーク性： 取り外し可能な校正データチップにより、Trigon™は高温の加熱条件にも耐えることができる拡張ベーク性を提供します。
   
• ユーザー中心のインターフェース： 明るいOLEDディスプレイ： Trigon™の大型で明るいOLEDディスプレイは90度回転させることができ、読み取りと設定が簡単です。ユーザーフレンドリーなインターフェースは、ゲージの操作とカスタマイズを簡素化します。
   
• 簡単に接続： 多彩なインターフェース： Trigon™は、アナログ出力、RS232Cシリアルインターフェース、EtherCAT®フィールドバスにより、柔軟な接続オプションを提供します。
   
• シームレスな統合： VGC50xコントローラシリーズ互換性： Trigon™はINFICONの真空計コントローラシリーズとシームレスに協力し、あなたの真空計測ニーズに完全に統合されたソリューションをお約束します。
   
• 環境に優しい製造： RoHS準拠： Trigon™はRoHSコンプライアンス基準を順守しており、INFICONの環境に配慮した製造への取り組みを強化しています。

有益なアプリケーション

• 半導体プロセスにおける圧力測定： Trigon™は、最先端技術に不可欠な半導体製造の精度と再現性を保証します。
   
• 工業用コーティング： Trigon™の耐久性と信頼性は、過酷な環境下で使用される産業界で高く評価されています。
   
• 一般的な真空測定と制御： Trigon®は、高真空から超高真空環境での真空計測と制御を必要とする幅広いアプリケーションに適応します。また、ATMレンジでの平均以上の正確な測定結果が必要な場合は、Trigon™ TripleGauge®が最適です。