モニタリング
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モニタ
IMM-100
高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
IMM-100
- NFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能なようにします
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
- コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加しないシングルチャンネルレートと膜厚モニター
モニター
IMM-200
高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
IMM-200
- INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能であることを保証します。
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
蒸着モニター
SQM-160
SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。
SQM-160
- 標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可能
- 蒸着速度/膜厚のアナログ信号出力
- 高分解能オプション：毎秒10回読み取りで0.03Hz
- RS-232 標準、USB またはイーサーネットオプション
Monitors
STM-2 USB 薄膜蒸着速度/膜厚モニター
STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。
STM-2 USB 薄膜蒸着レート/膜厚モニター
- 低価格の装置
- USB接続
- 内部発振器
- 1秒あたり10回測定する高精度
モニター
前駆体モニター用SemiQCM™ SRセンサー
高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる
SemiQCM™ SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。
前駆体モニター用SemiQCM® SRセンサー
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
モニター
前駆体モニタリング用SemiQCM™ CRセンサー
高精度な速度・厚みモニターで利益を守り成長させる
前駆体モニタリング用SemiQCM® CRセンサー
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定