コントローラ

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Cygnus® 2

Cygnus 2薄膜蒸着コントローラーは、実証済みのINFICONの薄膜コントローラーの性能と、OLEDプロセスを最大限に活用できるように設計された、ユニークな機能を組み合わせることにより、ひときわ優れた価値を提供します。

Cygnus® 2

• INFICONのModeLock技術は最も安定であり、非常に低い蒸着速度であっても最高の分解能と膜厚計測を可能にします。
• Auto Z は、材料の蒸着が進むとともにZ比率を自動的に決定し、膜厚の精度を向上させる
• 6つのソースまで同時にコントロールできるので、単独で、または1台のCygnus 2と組み合わせることにより、2台または3台のコントローラーが必要とされる箇所に対応
• カラーTFT LCDディスプレイがプロセスで何が起きているかを見やすく表示

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XTC/3

シングルまたはマルチレイヤー用の高度で低価格のコントロール

XTC/3

• シングルレイヤー対応モデルとマルチレイヤー対応モデルが利用可能
• 特許取得のModeLock技術が、モードホッッピングに由来する膜厚誤差を防止
• INFICONのCrystal 12^®、Crystal Six^®、およびデュアルセンサー自動振動子スイッチをサポートし生産力を最大化

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IQM-233

PCI EXPRESSカードによる低コストの蒸着コントロール

IQM-233

• PCI Express
• 3センサー入力、3コントロール出力
• 複数のカードをPCに取り付け
• 複数ソースの共蒸着

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Guardian™ EIES ントローラー

8種類までの材料を同時に蒸着

Guardian™ EIES ントローラー

• 8種類までの材料の蒸着を監視およびコントロール
• 蒸着速度0.1～10,000Å/秒
• EIESとQCM薄膜プロセスコントロールを統合
• リレー出力12とデジタル入力12

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IC6

機能豊富なIC6は可能な限り最高の計測精度を提供します 

IC6

• NFICONのModeLock技術は、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと厚みの計測を可能にします
• 自動Zは、材料が蒸着されるときに自動的にZ比率を決定することによって、厚みの正確さを向上させる
• 最大6つのソースを同時にコード化することが可能

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