반도체 공정 및 공장 최적화를 위한 스마트 센서 및 제조 소프트웨어
반도체 제조업체와 그 고객은 수율과 생산성을 극대화하기 위해 정밀도, 효율성, 제어 기능을 요구합니다. 업계가 새로운 도전에 직면함에 따라, AI/ML의 지원을 받는 자율 반도체 공장의 필요성은 미래의 성공에 매우 중요할 것입니다. 인피콘 스마트 솔루션은 반도체 산업의 미래를 형성하는 데 중추적인 역할을 합니다. 인피콘은 반도체 제조 에코시스템의 프론트 엔드부터 백엔드까지, 그리고 서브팹과 설비 시스템을 아우르는 전체 반도체 사이클을 최적화하도록 고유하게 설계된 입증된 종합적인 툴 제품군을 제공합니다.
스마트 제조 소프트웨어로 반도체 제조 역량 강화
소니의 스마트 제조 소프트웨어 제품군은 반도체 생산 라인 전반에 걸쳐 가장 널리 배포된 포괄적인 모니터링, 제어 및 공장 최적화 기능을 제공합니다. 디지털 트윈 데이터 웨어하우스는 공장 데이터를 실시간으로 결합하여 신속한 의사결정을 효과적으로 내리는 데 필요한 중요한 보고서와 애플리케이션으로 제공합니다. 고급 데이터 분석, 머신 러닝, 예측 모델링 알고리즘을 활용하여 방대한 양의 실시간 공정 데이터를 분석하고, 잠재적인 편차나 이상 징후를 식별하며, 공정 파라미터를 선제적으로 최적화하여 수율과 생산성을 극대화하고 유지보수 필요성을 예측하는 FabGuard® 및 SmartFDC® 같은 도구가 있습니다. 서브팹으로 확장된 인피콘의 스마트 제조 시스템은 실시간 모니터링 및 제어 기능을 제공하여 이탈 감지를 강화하고 서브팹 및 설비 시스템을 선제적으로 제어하여 소모품 사용량을 생산 요구 사항에 맞게 조정함으로써 공장을 친환경적으로 운영하도록 유도합니다. FabControl은 자율 스마트 제조에 필요한 통합적이고 포괄적인 고급 공정 제어 솔루션을 제공합니다. FabRecover는 데이터 기반 분석 및 검토를 통해 지속적인 개선을 지원하는 동적 실시간 예방 및 수정 유지보수 의사 결정 지원과 제어 불능 조치 계획을 제공합니다.
실시간 프로세스 모니터링을 위한 스마트 센서
인피콘 솔루션의 핵심은 차세대 반도체 공정 과제를 해결하거나 가능하게 하는 데 중요한 역할을 하는 인피콘 스마트 센서입니다. 인피콘의 센서는 미량 가스 농도, 불순물 및 공정 부산물을 포함한 실시간 공정 상태를 정확하게 측정합니다. 인피콘은 제조업체가 보다 정밀하게 공정을 제어할 수 있도록 지원하여 수율 향상, 공정 제어 개선 및 결함 감소로 이어집니다. 인피콘의 공정 감지 기술은 다음과 같습니다:
Transpector® 가스 분석 시스템은 업계 최고의 데이터 수집, 속도 및 감도를 제공합니다. 고급 Transpector APX 공정 모니터는 최고의 기판 보호 및 공정 최적화를 위해 ALD, CVD 및 식각 공정에서 가장 긴 수명을 제공합니다. Transpector MPH 및 XPR3+는 현장 공기 누설, 가스 순도, 탄화수소 및 오염 모니터링에 이상적입니다. ALD, Etch, CVD 및 300mm Degas의 실시간 공정 모니터링을 위해서는 이러한 까다로운 어플리케이션에서 현장에서 입증된 내구성과 신뢰성을 갖춘 Transpector CPM 3을 살펴보십시오.
실시간 누설 감지, 엔드포인트 감지 및 공정 모니터링을 위해서는 자체 플라즈마 광학 방출 분광법(SPOES)을 기반으로 하는 인피콘 Quantus® HP100 가스 분석기를 사용하세요. 컴팩트한 Quantus HP100은 고가의 펌프 없이도 뛰어난 감도, 컴팩트한 폼 팩터, 넓은 작동 압력 범위를 제공하므로 대부분의 반도체 장비에 이상적입니다.
전구체 모니터링을 위해 SemiQCM은 가장 혹독한 CVD 또는 ALD 챔버에 설치할 수 있습니다. 포라인 또는 챔버 배기 내 전구체의 양을 모니터링하여 엔드포인트 및 결함 제거를 실현할 수 있습니다. 현장 설치형 SemiQCM은 경제적인 공정 모니터링과 향상된 반도체 공정 수익성을 제공합니다.
메모리와 로직 모두에서 스태킹 레이어가 증가하면서 디바이스 아키텍처가 수직적으로 계속 성장함에 따라 정확한 에칭 엔드포인트 감지가 더욱 어려워지고 있습니다. 인피콘의 RF 센서 제품군은 가장 정밀한 에칭 제어를 위한 실시간 플라즈마 모니터링과 함께 추가적인 웨이퍼 안전을 위한 고속 아크 감지를 제공합니다.
인피콘 스마트 센서는 반도체 증착, 식각 및 기타 중요한 공정을 위한 최적의 조건을 보장합니다. 이러한 스마트 센서는 칩 제조에 필요한 멸균 환경을 유지하는 데도 중요한 역할을 합니다. 이러한 기술은 진공 챔버에서 아주 작은 누설도 감지하여 오염을 방지하고 최종 제품의 무결성을 보장합니다. 이러한 품질 관리에 대한 집중은 반도체 제조업체가 칩의 높은 신뢰성과 일관성을 유지하는 데 도움이 됩니다.
인피콘은 반도체 산업에서 지속 가능성의 중요성이 점점 커지고 있음을 잘 알고 있습니다. 당사의 서브팹 및 설비 제어 시스템은 제조업체가 온실가스 배출을 줄이는 데 중점을 두고 에너지 소비와 소모품 사용을 최적화하여 환경 친화적인 제조 공정을 개선할 수 있도록 지원합니다. 엔지니어는 스마트 툴 기반 디지털 트윈을 통해 다양한 센서, 게이지, 설비 및 기타 장치에서 데이터를 수집하여 업계에서 가장 포괄적인 프로세스 툴을 파악할 수 있습니다. 이 강력한 공정 정보 수집을 서브팹 및 설비 데이터와 결합하면 잠재적인 공정 영향에 대한 명확한 시각과 더 나은 제어 방법을 얻을 수 있습니다.
인피콘은 세계 최대 반도체 제조업체의 신뢰할 수 있는 파트너이자 공정 및 공장 최적화를 위한 계측 및 소프트웨어 분야의 업계 리더입니다. 정밀 측정 도구부터 고급 소프트웨어 플랫폼에 이르기까지 다양한 솔루션 제품군은 반도체 제조 발전에 중요한 역할을 하고 있습니다. 정확성, 효율성, 품질 및 지속 가능성에 중점을 둔 인피콘은 점점 더 상호 연결되는 세상을 구동하는 신뢰할 수 있는 고성능 칩을 생산할 수 있도록 지원합니다. 인피콘과 함께라면 특정 공정 요구 사항에 대한 전 세계 전문가 지원을 받을 수 있습니다.
