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FabTimeで出荷ロットサイクルタイムチャートを表示するウェハ工場内のコンピュータの例
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なぜ、どのようにして、工場はCTの改善に注力すべきか

この記事では、なぜ半導体ウェハ工場にとって良好なサイクルタイムが重要なのか、なぜ良好なサイクルタイムを達成するのが難しいのか、そしてそれを改善するために工場管理者が高いレベルで何をすべきなのかについて述べる。 ファブのサイクルタイムを改善するためには、3つのアプローチが必要であると考える。

工場の会議室でモニター上のFabTime Tool Stateガントチャートを見る2人の設備エンジニア。
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ウェハ製造工場におけるワディントン効果

この記事では、予定されたメンテナンスを実施することで、予定外のダウンタイムが短期的に増加することがある「ワディントン効果」について紹介します。 また、ワディントン効果プロットの作成と使用方法についても説明します。

Metrology Sampling Dashboard
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抜取り検査サンプリングの進化

Metrology Sampling Optimizer(MSO)は、時間または割合のルールを使用して基準となる計測サンプリングを処理するように設計されています。基準サンプリングに加えて、イベントベースのサンプリングを処理するためのルールも設定することが可能です。

Diffusion WIP States
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強化されたサイクルタイム

製品紹介と利点

Backend Factory
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後工程製造のためのFactory Scheduler

半導体製造の初期においては、「スケジュール」とはロットリストやルートを検討するチームが、その日の仕掛かり作業をどのように進めるかを話し合うことを意味していました。

Backend Factory
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バックエンド処理の障害検出

前工程のウェハ処理におけるFDCソリューションの成功を受け、複数の半導体メーカーが後工程のウェハアセンブリプロセスにFDCを導入することを選択しました。

SmartFDC preview
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SmartFDC® 機械学習による故障検出

適切に構成されたFDCシステムには、プロセス、装置、故障モードに関する深い知識と、システムの設定および保守に対する協力的な取り組みが必要です。システムが完全に設定されていても、設計時に考慮された故障条件に依存するため、その限りでしか有効ではありません。

FabTime - Chart Operator Delay
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サイクルタイムを推進する機能的活用のための新しい指標

WIPの待機時間とWIPが待機していない待機時間を区別することで、装置レベルでのサイクル時間を決定する稼働率の部分を把握します。

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