センサー&フィードスルー

Easy Rate Dual Sensor

Easy-Rate-Dual-Sensor
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Easy Rateデュアルセンサにより、1つの振動子だけでは不十分なQCM用途に、シンプルで安価なソリューションを提供します。プロセスを完了するために必要になるまで、シャッターが第2振動子を覆います。Easy Rateデュアルセンサは、現場での交換が容易なように、2本の真空内ケーブルを使用しています。

Easy Rateデュアルセンサのコンパクトな設計に必要なクリアランスは32.5 mm (1.3インチ) だけなので、センサとシャッタアセンブリは標準CF40ニップルを通過できます。

Easy Rateデュアルセンサは標準と直角向きのものが利用可能です。また、標準チューブフィッティング付き、またはフィッティング無しのフィードスルーを含めるように構成できます。

注:Easy Rateデュアルセンサは外径4.8 mm (3/16 in.) の水冷却チューブを使用します。  Ultra-Torr装備フィードスルーとは互換性がありません。外径 4.8 mm (3/16インチ)水冷却チューブで標準フィードスルーに溶接するためにチュービングアダプターが必要です。

機能

  • デュアル振動子
  • 廉価
  • 前面搭載の振動子ホルダー
  • 振動子シャッター付属
  • 取り付けが容易
  • CF40フィードスルーに溶接済みのベーク可能構成
  • お客様指定の長さに溶接済みのセンサー/フィードスルーの組合せあり

仕様

水なしでの最高ベークアウト温度130° C
最小水流での最大動作等温環境温度400° C
Crystal ExchangeFront loading; shutter moves to the side for easy access to the holders
Feedthrough2 pass water and 1 pass air 4.76 mm (0.188 in) OD with 2 microdot coaxial connections
Water TubesS-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing
Feedthrough Specifications-CF40 (2-3/4 in. ConFlat)
材料304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
マウンティングMates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
アクセサリー
消耗品
NameDescription
Easy Rate Sensor FeedthroughsEasy Rate Sensor Feedthroughs
NameDescription
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals

スペアパーツ

Part NumberDescription
784-205-G1Crystal Retainer Assembly
784-403-P1Crystal Finger Spring
784-204-G1Crystal Holder Assembly
784-404-P1Retaining Ring
784-300-P1Crystal Holder
784-405-P1Holder Finger Spring
750-174-P2Female coax
080-011-P3SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
080-013#0-80 Split washer
784-206-G1Easy Rate Sensor Actuator Assembly
784-203-G1Easy Rate Right Angle Dual Sensor Head
784-306-P1Easy Rate Sensor Actuator Clamp
084-054SSplit Washer #4 Stainless Steel Spare
084-027Socket Screw
784-307-P1Easy Rate Dual Sensor Shutter
783-500-023In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.)
783-500-024In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.)
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