光学式ガス分析計
INFICONは半導体、ディスプレイ、その他の製造プロセスにおけるガス分析のために、業界をリードする光センサソリューションを提供します。 当社の最先端技術はin-situエアリーク検出、終点検出、そして歩留まりを向上させスクラップを最小限に抑えるプロセス監視を可能にします。
このフィルタの組み合わせでは、結果は表示されません。
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
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光学式ガス分析と全圧測定用のデュアルゲージ
Augent® OPG550
INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
Augent® OPG550
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
光学式ガス分析計
Quantus® HP100
最先端の半導体製造プロセスやその他のガス分析アプリケーションに、リアルタイムの漏れ検知、終点検知、プロセスモニタリングを提供します。
Quantus® HP100
- 動作範囲：1Torr～450Torr
- 優れた検出限界 < 1 ppm
- 長期信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
光学式ガス分析計
Quantus® LP100
重要なプロセス環境において、リアルタイムのリーク検出と終点検出を実現
Quantus® LP100
- 10mTorrから1Torrの動作範囲
- 低 ppm レベルまでの優れた検出限界
- 長期的な信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け