전후 비교: SMART-Spray가 누설 감지 프로세스를 변화시키는 방법
부피가 큰 장비에서 무선 효율성까지 - 반도체 제조 과정에서 누설 검사를 더 빠르고, 안전하며, 정확하게 수행하는 방법을 발견하세요.

반도체 제조 과정에서의 누설 테스트
반도체 제조에서 품질 관리를 위해 누설 검사는 필수적이지만, 반드시 번거로울 필요는 없습니다. 전통적인 헬륨 누설 검사는 대형 실린더를 다루고 긴 호스를 관리하며 복잡한 장비를 조작하는 어려움을 동반합니다. 이러한 문제들은 누설 검사 과정을 지연시킬 뿐만 아니라 오류 위험과 안전 위험을 증가시킵니다
인피콘의 SMART-Spray를 소개합니다. 이 무선 이동식 헬륨 스프레이 건은 누설 테스트의 효율성, 속도, 정확성 및 작업자의 편의성을 개선하여 판도를 바꿉니다. 그러나 그 차이는 얼마나 클까요? SMART-Spray를 사용한 헬륨 누설 테스트와 사용하지 않은 헬륨 누설 테스트를 자세히 살펴보겠습니다.


누설 감지: 기존 방식과 SMART-Spray의 비교
SMART-Spray 사용 전:
🚫 조작이 어려운 부피가 큰 헬륨 실린더
🚫 이동성을 제한하고 걸려 넘어질 위험을 높이는 길고 엉킨 호스
🚫 사용자의 실수가 발생하기 쉬운 수동 스프레이 조정
🚫 반도체 누설 감지를 위한 시간이 많이 소요되는 설정 및 모든 테스트 지점에 도달하기 어려운 제한된 도달 범위
🚫 누설률을 읽기 위해 스프레이를 뿌린 위치에서 리모컨이 필요
운영자들은 복잡하고 대형 장비 내부의 좁은 공간을 이동하며 정밀도를 유지해야 하는 어려운 작업을 수행해야 합니다. 이는 효율성 저하와 잠재적 안전 위험으로 이어지는 조합입니다.
SMART-Spray 사용 후:
✅ 무선 및 이동식: 호스나 실린더에 묶이지 않고 자유롭게 이동할 수 있습니다.
✅ 손끝으로 정밀하게 제어: 장치에서 직접 4가지의 사전 조정된 헬륨 유량 설정 중 하나를 선택하여 일관된 누설 테스트 결과를 얻을 수 있습니다.
✅ 실시간 데이터: 내장 디스플레이를 통해 누설률과 장치 상태를 한눈에 확인할 수 있습니다.
✅ 향상된 안전성: 바닥에 호스가 없어 넘어질 위험이 줄어듭니다
✅ 더 넓은 공간: 헬륨 실린더가 필요 없어 다른 작업에 사용할 수 있는 공간이 확보됩니다
✅ 사용 기간 연장: 리필 및 교환이 가능한 헬륨 카트리지(HeliCan)와 재충전/교환이 가능한 배터리를 통해 원활한 누설 검사가 가능합니다.
기존의 누설 감지 방식에서 물리적, 물류적 문제를 제거한 SMART-Spray는 더 빠르고 정확한 누설 테스트를 가능하게 합니다. 이제 작업자는 장비에 어려움을 겪지 않고도 접근이 어려운 부위에 접근할 수 있어 테스트 시간과 작업자의 피로를 줄일 수 있습니다.
왜 차이가 중요한가:
누설률 기준이 1 x 10⁻⁹ mbar·L/s까지 엄격한 반도체 제조에서는 정확성이 필수적입니다. SMART-Spray를 사용하면 운영자가 테스트 지점이 많은 복잡한 시스템에서도 누설 테스트를 빠르고 안정적으로 수행할 수 있습니다.
속도뿐만 아니라 안전성, 효율성, 사용 편의성도 중요합니다. 이동 부품이 적고 누설 검사 프로세스가 간소화된 SMART-Spray는 물리적 부담과 운영 오류 위험을 모두 최소화합니다.


자세한 정보는 SMART-Spray 제품 페이지를 방문하십시오.
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