헬륨 누설 감지기

UL6000 Fab Series

누설 테스트의 속도와 정밀도에 대한 표준 설정

UL6000-Fab-PLUS

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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누설 검출에서 속도 및 정확도 정의

인피콘 UL6000 모바일 헬륨 누설 검출기는 가장 중요하고 까다로운 누설 검출 분야에 맞게 설계되었습니다. 현장 검증된 진공 설계에서 인피콘 독점 소프트웨어 알고리즘 I-CAL 및 Hydro-S를 특징으로 하는 UL6000은 테스트 유연성, 높은 민감도 및 신속 정확한 결과를 제공하여 어떤 누설 검출 분야든 빠르고 쉽게 만들어 줍니다.

 UL6000은 모든 측정 범위에서 빠른 응답 시간을 제공하고 매우 짧은 주기 시간에 테스트 조건 및 최종 결과에 도달합니다. 특수 설계된 진공 구조는 사용자가 요구하는 지속적으로 높은 헬륨 펌핑 속도와 매우 빠른 응답 시간을 제공합니다.

장점

  • 검사 조건에 빠르게 도달할 수 있게 해주는 HYDRO-S(HYDROgen-Suppression).
  • UL6000 Fab PLUS - 추가 이점s
    • 지능형 상승률 테스트인 I-RISE가 특징입니다: 헬륨 분무 방식과 결합된 기기 내 압력 상승 테스트 제공
    • 10초 이내에 상승률 측정 가능
    • 리크 테스트 및 팹 장비 유지보수에 소요되는 일반적인 시간을 최소화합니다.
    • 더 빠른 속도, 더 정밀한 측정
       
  • 모든 측정 범위의 누설에 대해 빠른 반응 시간을 보장하는 I-CAL(Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rate)
  • 모든 압력에서 높은 헬륨 압축과 함께 최적화된 높은 헬륨 펌핑 속도를 제공하여 감도와 반응성이 탁월하고 빠른 청소가 가능한 특수 다중 입구 터보분자 펌프.
  • 최대 용량 및 챔버를 포함하여 모든 검사 대상에서 매우 빠른 반응을 위한 부스터 터보분자 펌프.
  • 문제 없고, 유지보수가 필요 없는 설계에서 수년 간의 정확하고 반복 가능한 결과로 현장에서 입증된 인피콘 자기 섹터 질량 분석계.
  • 헬륨 및 미립자 오염에서 UL6000을 보호하는 자체 보호 기능과 필요 시 UL6000을 즉시 사용할 수 있게 해주는 자동 퍼지 주기.
  • 유연한 작동을 위해 회전 가능한 디스플레이/제어 인터페이스 및 옵션 원격 핸드 컨트롤러.
  • 장치 및 시스템 소프트웨어에 대한 액세스 제어는 소프트웨어를 통해 활성화되어 무단 사용 또는 검사 설정에 대한 의도치 않은 변경을 방지할 수 있습니다.
  • UL6000을 최적의 성능으로 유지하기 위해 이메일을 통한 소프트웨어 업데이트.
  • 검사 편이성을 위해 ESD 매트 및 공구 상자를 포함하고 최적 높이의 작업 표면이 있는 워크스테이션 설계.

일반적인 응용 분야

  • 반도체 및 디스플레이 장비에서 사용되는 부품, 서브어셈블리 및 대형 챔버의 누설 검사
  • 반도체 및 평면 패널 공구의 누설 검사
  • 항공우주 부품, 서브어셈블리 및 시스템의 누설 검사
  • 저장 용기/저장 탱크의 누설 검사

사양서

UL 6000 Fab
UL 6000 Fab PLUS
Min. detectable leak rate for helium (vacuum method)mbar∙L/s<5∙10-12 
Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode)mbar∙L/s<5∙10-8
Max. inlet pressure (MASSIVE mode) atm (~1013 mbar)
Type of roughing pump roots
Max. pumping speed of roughing pumpm³/h>36
Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) m³/h23 
Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar)m³/h26
Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode)L/s>36
Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40L/s~ 30
Evacuation Time to 1 mbar 50 Ls52
Response time for 50 Ls1.4
Evacuation time to 1 mbar 50 L s52
Evacuation time to 1 mbar 100 L* s104
Evacuation time to 1 mbar 500 L* s527
Evacuation time to 1 mbar 1000 L* s1054
Venting 50 L to atm. 16 ss16
Run up time for operationmin<2
Time for calibration s<30 s
Inlet flange DN63 ISO-K
Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology)  2,3,4 (H2, 3He, He)
Supply voltage  V100 to 230, 50/60 Hz
Max. Power Consumption VA1500
Typ. Power ConsumptionVA700
Weightkg143
Dimensions (LxWxH)mm
in.
1050x427x1040
42x21x41
*extrapolated  
Min. detectable leak rate for helium (vacuum method)mbar∙L/s<5∙10-12 
Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode)mbar∙L/s<5∙10-8
Max. inlet pressure (MASSIVE mode) atm (~1013 mbar)
Type of roughing pump roots
Max. pumping speed of roughing pumpm³/h>36
Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) m³/h23 
Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar)m³/h26
Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode)L/s>36
Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40L/s~ 30
Response time for 50 Ls1.4
Evacuation time to 1 mbar 50 L s52
Evacuation time to 1 mbar 100 L* s104
Evacuation time to 1 mbar 500 L* s527
Evacuation time to 1 mbar 1000 L* s1054
Venting 50 L to atm. 16 ss16
Run up time for operationmin<2
Time for calibration s<30 s
Time for rate-of-rise measurement (I·RISE)s<10
Inlet flange DN63 ISO-K
Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology)  2,3,4 (H2, 3He, He)
Supply voltage  V100 to 230, 50/60 Hz
Max. Power Consumption VA1500
Typ. Power ConsumptionVA700
Weightkg143
Dimensions (LxWxH)mm
in.
1050x427x1040
42x21x41
*extrapolated  
파트 넘버
악세사리
소모품
UL6000 Fab
550-520UL6000 Fab
UL6000 Fab PLUS
550-530UL6000 Fab PLUS
551-226Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF
551-227Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF
551-015Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter
551-010Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203Bracket for SL3000
551-210SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201Helium Bottle Holder
560-310I/O 1000 module
560-315BM1000 Profibus module
560-316BM1000 PROFINET IO module
560-317BM1000 DeviceNet module
560-318BM1000 Ethernet/IP module
560-334Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332Data Cable 2 m
560-335Data Cable 5 m
560-340Data Cable 10 m
파트 넘버설명
200007656Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation

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매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作说明书 Operating instructions
pdf 5,0 MB 중국어 사용 매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Instrukcja obsługi
pdf 4,9 MB 폴란드어 사용 매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Istruzioni per l'uso
pdf 4,9 MB 이탈리아어 사용 매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Manual de instrucciones
pdf 4,9 MB 스페인어 사용 매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Notice d'utilisation
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UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS инструкция по эксплуатации
pdf 5,3 MB 러시어 사용 매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 사용 설명서 Operating instructions
pdf 4,9 MB 한국어 사용 매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作説明 Operating instructions
pdf 5,0 MB 중국어 사용 매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Betriebsanleitung
pdf 4,9 MB 독일어 사용 매뉴얼
RC1000 Betriebsanleitung
pdf 2,1 MB 독일어 사용 매뉴얼
SL3000(XL) Operating Manual
pdf 1,8 MB 독일어 사용 매뉴얼
Halterung SL3000
pdf 328,7 KB 독일어 사용 매뉴얼
RC1000 Operating instructions
pdf 2,1 MB 영어 사용 매뉴얼
RC1000 Notice d'utilisation
pdf 2,1 MB 프랑스어 사용 매뉴얼
SL3000 bracket
pdf 148,3 KB 영어 사용 매뉴얼
SL3000(XL) Operating Manual
pdf 1,8 MB 영어 사용 매뉴얼
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Operating instructions
pdf 4,8 MB 영어 사용 매뉴얼
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