헬륨 누설 감지기

UL1000 Fab

헬륨 진공 누설 검출기(건식)

진공 산업 및 반도체 생산 분야를 위한 진공 누설 검사에 대한 “건식” 표준

INFICON UL1000 Fab 헬륨 누설 검출기는 진공 산업 및 반도체 생산 분야를 위한 경제적인 헬륨 진공 누설 검사에 있어 세계 시장을 선도하는 제품입니다.

탄소 질소 화합물 또는 입자를 이용하여 검사한 부품 또는 장비에 남아있을 수 있는 오염물질을 드라이 펌프 기술로 제거합니다. UL1000 Fab은 고성능, 비교할 수 없는 견고함과 저렴한 가격을 아우르는 최상의 제품입니다. 또한 10^-12 mbar·l/s 에 이르는 최고의 검출 한계와 빠른 펌프 다운 및 반응 시간을 함께 제공합니다. 효율적 설계 덕분에 쉽게 기동할 수 있어 공간이 좁아도 유지보수가 용이합니다. 선택적 백그라운드 감쇠(iZERO) 기술이 적용되어 기존 백그라운드 레벨보다 최소 2승 낮은 수준으로 연속 누설 검사를 가능하게 합니다.

이러한 장점 덕분에 누설 검사에 소요되는 노력과 시간을 절감하는 동시에 경제적으로 모든 누설을 확실히 파악할 수 있습니다.

장점

빠른 펌프 다운과 반응 시간으로 누설 검사에 소요되는 노력을 최소화할 수 있습니다.
선택적 백그라운드 감쇠(iZERO) 기술이 적용되어 여러 번 누설 검사를 실시할 필요가 없습니다.
공간 효율적 설계로 좁은 작업 공간에 쉽게 접근을 용이하게 합니다.
2개의 견고한 고온 필라멘트 이온 소스(3년 보증) 및 역류식 진공 시스템 덕분에 총소유비용(TOC)이 저렴합니다.
회전식 디스플레이, 누설 광학 표시와 경고음, 리모컨(옵션)을 이용할 수 있어 편의성이 뛰어납니다.
자동 보정 절차를 포함한 내장 누설 검사 기능으로 인해 유지보수가 간단합니다.

일반적인 응용 분야

매우 청결해야 하는 산업용 진공 장비 생산 환경
기존 도구에 설치하기 전 진공 부품 또는 하위 부품 누설 검사
별도 펌프 유무에 상관없이 진공 장비 유지보수 가능
공정 가스 시스템의 검사 및 설치
반도체, 평판 디스플레이, 태양 전지 생산

사양서

헬륨(진공 모드)에 대한 최소 탐지 누설률	mbar•L/s	< 5 • 10^-12
헬륨(스니퍼 모드)에 대한 최소 탐지 누설률	mbar•L/s	< 5·10^-8
최대 입구 압력 GROSS 모드	mbar	15
최대 입구 압력 FINE 모드	mbar	2
최대 입구 압력 ULTRA 모드	mbar	0.4
배출 중 펌핑 속도	m³/h	25 at 50 Hz
헬륨 ULTRA 모드	L/s	2.5
탐지 질량		2,3,4 amu
질량 분석기 섹터 필드		180°
필라멘트 이온원 이리듐/산화이트룸 코팅		2
보정된 내장 누설	mbar•L/s	∼ 10^-7
테스트 포트	DN 25 KF	1
조절식 트리거		2
인터페이스		RS 232
챠트 기록계 출력	V	2 x10
입력/출력		PLC compatible
허용 주위 온도(작동 중)	°C	+10 to +40
중량	kg lb	110 242
치수(l x w x h)	mm in.	1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39
공급 전압 (EU)	V (ac)	230 (± 10 %) 50 Hz
공급 전압 (US)	V (ac)	100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
전력 소비 (typ.)	VA	1100
Power consumption (max.)	VA	1100

Part Number

Accessories

550-100A	UL1000 Fab, 230 V AC, EU plug
550-101A	UL1000 Fab, 100/115 V AC, US plug

14022	Extension cable for remote control RC1000, 8 m length
551-000	Toolbox, detachable,for UL1000
551-001	Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002	ESD Mat for UL1000/5000
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010	Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-015	Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter
551-020	Wireless transmitter for RC1000WL

RC1000 Remote Control	RC1000 Remote Control
TC1000 Test Chamber	TC1000 Test Chamber