헬륨 누설 감지기

UL3000 Fab Series

ULTRATEST ™ 센서 기술

반도체 어플리케이션의 리크 검사 요구에 맞게 특별히 설계되었습니다.

유연성, 이동성, 빠른 시동, 고감도, 빠르고 정확한 테스트 결과 및 신뢰성이 특징입니다.

공기 펌핑 속도가 빨라 펌프 다운(배기) 시간이 단축됩니다.
유지보수가 적은 루츠 러핑 펌프로 인해 총 소유 비용(TCO)이 절감됩니다.
HYDRO-S 소프트웨어가 수증기 백그라운드를 제거하여 민감한 측정 범위에 빠르게 도달할 수 있으므로 누설 점검을 더 일찍 시작할 수 있습니다.
UL3000 Fab ULTRA는 최대 10m 길이의 검증된 스니퍼 라인 SL3000을 사용하여 향상된 스니퍼 기능도 제공합니다. SL3000에는 별도의 연결 포트가 있어 진공 흡입구에 연결할 필요가 없습니다.

빠른 결과

유지보수가 적은 진공 펌프가 장착된 개선된 진공 시스템으로 대기압에서 시작되는 누설을 감지할 수 있습니다. 견고한 질량 분석기 시스템은 긴 작동 시간과 낮은 유지보수 비용을 보장합니다.

회전식 디스플레이 및 원격 제어 가능한 사용자 인터페이스

새로운 터치 스크린 디스플레이는 먼 거리에서도 테스트 결과와 상태 정보를 표시합니다. 경험이 없는 작업자도 사용자 안내 메뉴 구조를 통해 쉽게 조작할 수 있습니다. 특별한 소프트웨어나 앱 없이 스마트폰 또는 태블릿을 통해 UL3000 Fab(ULTRA)을 무선으로 제어할 수 있습니다. 푸시 버튼을 통한 테스트 결과 기록 및 저장은 추가 분석을 위해 다른 저장 매체로 전송할 수 있습니다.

뛰어난 기동성을 위한 슬림한 디자인

낮은 무게 중심, 큰 바퀴, 인체공학적으로 설계된 손잡이, 슬림한 하우징 덕분에 좁은 공간에서도 UL3000 Fab(ULTRA)의 기동성이 우수합니다.

장점

10-9 ~ 10-12 mbar-l/s 범위에서 빠른 측정을 위한 I-CAL 소프트웨어 알고리즘으로 시간 절약
높은 측정 감도를 유지하면서 빠른 백그라운드 억제를 위해 향상된 지능형 기능을 갖춘 I-ZERO 2.0을 사용하여 가장 효율적인 누설 검사 가능
진공 및 스니퍼 누설 검색에 적용 가능
빠른 대피 및 대응 시간을 통해 누설 검사 노력 최소화
슬림한 설계를 통한 손쉬운 조작으로 시간 절약
견고한 이온 소스(3년 보증)와 역류 진공 시스템으로 낮은 총 소유 비용(TCO) 실현
풀 컬러 고해상도 회전식 디스플레이를 갖춘 사용하기 쉬운 작업자 안내형 HMI
UL3000 Fab ULTRA: HYDRO-S 소프트웨어가 수증기 배경을 제거하여 민감한 측정 범위에 빠르게 도달할 수 있으므로 누설 점검을 더 일찍 시작할 수 있습니다.
UL3000 Fab ULTRA: 루츠 펌프의 공기 펌핑 속도가 빨라져 펌프 다운(배기) 시간 단축
UL3000 Fab ULTRA: 유지보수가 적은 루츠 러핑 펌프로 인해 총 소유 비용(TCO)이 낮습니다.
UL3000 Fab ULTRA: 이 누설 감지기는 최대 10m 길이의 검증된 스니퍼 라인 SL3000을 사용하여 향상된 스니퍼 기능도 제공합니다. SL3000에는 별도의 연결 포트가 있어 진공 흡입구에 연결할 필요가 없습니다.

일반적인 응용 분야

반도체 팹
디스플레이 제조
태양 전지 제조
유리 및 웹(롤투롤) 코팅
일반 진공 코팅 및 응용 분야

사양서

UL3000 Fab

UL3000 Fab ULTRA

최대 러핑 펌프의 펌핑 속도	m³/h	>30
헬륨 펌핑 속도(고감도 모드 ULTRA)	L/s	4
치수 ( LxWxH )	mm in.	1050x472x987 42x21x34
추가 기능	공기 펌핑 속도가 가장 빠른 루츠 건조 펌프, HYDRO·S, SL3000용 별도 스니퍼 라인 포트, 진공 호스 홀더

최대 러핑 펌프의 펌핑 속도	m³/h	>36
헬륨 펌핑 속도(고감도 모드 ULTRA)	L/s	4
치수 ( LxWxH )	mm in.	1050x472x987 42x21x34
추가 기능	공기 펌핑 속도가 가장 빠른 루츠 건조 펌프, HYDRO·S, SL3000용 별도 스니퍼 라인 포트, 진공 호스 홀더

파트 넘버

악세사리

소모품

550-260	UL3000 Fab ULTRA
550-200	UL3000 Fab

파트 넘버	설명

551-010	Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202	Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001	SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002	SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003	SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203	Bracket for SL3000
551-210	SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201	Helium Bottle Holder
560-310	I/O 1000 module
560-315	BM1000 PROFIBUS module
560-316	BM1000 PROFINET IO module
560-317	BM1000 DeviceNet module
560-318	BM1000 Ethernet/IP module
560-334	Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332	Data Cable 2 m
560-335	Data Cable 5 m
560-340	Data Cable 10 m
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-205	extension cable for TC1000/SL200, UL3000