キャパシタンスマノメーター

Edge® CDG045D2

45℃温度制御、フルスケール 1 ... 1000 Torr / mbar

Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Edgeキャパシタンスダイアフラムゲージは高精度の真空計で、過酷な製造環境でも使用できるよう設計されています。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。エッジには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが付いています。最新の電子機器は、すべてのアプリケーションに広範囲にわたって構成可能な信号条件付けと、オプションのEtherCATフィールドバスインターフェースが付いています。革新的な加熱コンセプトによって、タッチ面の冷却を可能にし、貴重なツールスペースを節約します。INFICON Edgeは、この種の中で最も小さい真空計です。

利点

  • コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
  • 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
  • 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
  • すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
  • 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
  • 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
  • CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

  • CVD、エッチング、PVDと他の半導体製造プロセス

仕様

1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
精度 % of reading0.15
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.15
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

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本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ&オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

詳細はこちら
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM&ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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