ホットイオンゲージ

Trigon™ BAG552

中真空～超高真空対応シングルゲージ

ドロップインオプション

バキュームゲージに革命を起こしましょう！

独立したホットイオンゲージ技術を必要とするアプリケーションのために、Trigon™ ファミリーは単一技術のベイヤードアルパートホットイオンゲージ BAG552を提供しています。

BAG552は、圧力範囲5 × 10^-10 ... 2 × 10^-2 mbarのガスの真空測定用に設計されています。サポートされたデュアルフィラメントにより、優れた精度、再現性、長寿命を実現します。BAG552はINFICONの真空計コントローラシリーズVGC501, VGC502, VGC503と組み合わせて操作することもできます。

利点

超高真空～高真空の広範囲に対応する純粋なベイヤードアルパート測定システム
ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
ガルバニック絶縁エレクトロニクスによる迷走電流の回避
エミッション・ストリーム切り替え時の圧力ジャンプやフリーズを防ぐスライディング・エミッション・モード
取り外し可能な校正データチップによる拡張ベーク性
セットポイントリレー
ユーザーインターフェースを備えた明るく大きなOLEDディスプレイ（90°回転可能)
アナログ出力、RS232Cシリアルインターフェース、EtherCAT®対応
VGC50xコントローラシリーズと併用可能
RoHS対応

標準的なアプリケーション

半導体プロセスにおける圧力測定
工業用コーティング
高真空から超高真空領域のシステムにおける一般的な真空測定と制御

仕様

測定範囲 (空気, O₂, CO, N₂)	5 × 10^-10 … 2 × 10^-2 mbar

精度
1 × 10^-8 … 2 × 10^-2 mbar	読み値の ±15%

再現性	読み値の 5%, 10^-8… 2 × 10^-2mbar (10分安定後）

真空にさらされる材料	ステンレス鋼、NiFe、ニッケルめっき、ハステロイ、ガラス、イリジウム、酸化イットリウム（Y2O3）、Ni、タングステン