Vacuum Feedthroughs

回転式フィードスルーCF

Rotary-Feedthroughs-CF

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。

利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。

利点

  • シール済みベロー
  • オールメタルバージョン
  • 非常に困難な真空の必要条件を満たすために
  • 2011/65/EU RoHS 準拠

仕様

FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
タイプ DN 16 CF-F
真空接続 bellow
フィードスルー/シールmm4
シャフト接続 
トルク伝達N•m0.4
ダイナミックN•m0.2
静電気N•m0.2
回転数RPM200
最大トルクRPM­
シャフトロード真空側
半径方向力N10
軸方向力N5
サービスライフRevolutions1 000 000
目盛分割degree10
真空気密性mbar•L/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
使用温度°C300
ベークアウト温度°C300
接ガス材料 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360
重量kg0.3
タイプ DN 40 CF-F
真空接続 bellow
フィードスルー/シールmm8
 
シャフト接続 4
トルク伝達N•m2
ダイナミックN•m3
静電気N•m1000
回転数RPM500
最大トルクRPM 
60
シャフトロード真空側 20
半径方向力N2 000 000
軸方向力N
サービスライフRevolutions5 x 10-11
目盛分割degree1 x 10-10 mbar ... 2 bar
真空気密性mbar•L/s300
圧力 (絶対圧力) 300
使用温度°C304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360
ベークアウト温度°C1.5
接ガス材料 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360
重量kg0.3
タイプ DN 40 CF-F
真空接続 bellow
フィードスルー/シールmm12
 
シャフト接続 10
トルク伝達N•m2
ダイナミックN•m5
静電気N•m500
回転数RPM300
最大トルクRPM 
100
シャフトロード真空側 30
半径方向力N1 000 000
軸方向力N
サービスライフRevolutions5 x 10-11
目盛分割degree1 x 10-10 mbar ... 2 bar
真空気密性mbar•L/s300
圧力 (絶対圧力) 300
使用温度°C304L/1.4306, 304/1.4301, 303/1.4305
ベークアウト温度°C3
接ガス材料 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360
重量kg0.3
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

パーツ番号

FRU016-H 
214-310FRU016-H Rotary feedthrough DN 16 CF-F
FRU040-L 
214-314FRU040-L Rotary feedthrough DN 40 CF-F
FRU040-N 
214-312FRU040-N Rotary feedthrough DN 40 CF-F
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